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国家自然科学基金(60474053)
国家自然科学基金(60474053)
- 作品数:2 被引量:12H指数:2
- 相关作者:车录锋熊斌赵楷谢铮王跃林更多>>
- 相关机构:中国科学院中国科学院研究生院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型被引量:7
- 2008年
- 本文分析了传统MEMS电容式加速度计模型的不足,根据三明治结构电容式加速度计的特点,考虑了寄生电容和热机械噪声的影响,建立了用Verilog-A硬件描述语言实现的模型。该模型与主流集成电路设计环境相兼容,具有很强的可移植性。模拟验证结果表明,该模型如实反映了MEMS电容式加速度计的工作状态,能够为设计单片集成的微弱电容检测电路提供有效的帮助。
- 赵楷熊斌车录锋
- 关键词:MEMS加速度计寄生电容
- 高Q值音叉式微陀螺静电自激驱动研究被引量:5
- 2007年
- 为了提高检测精度,对研制的具有滑膜阻尼的音叉式微机械陀螺采用静电自激驱动方式,它能够使驱动振动自动稳定在驱动模态的固有频率上,并保持恒定的驱动振动速度幅度。分析了静电自激驱动电路工作原理,采用自动增益控制(AGC)设计制作了相应的检测电路,实现了Q值为325、谐振频率为2.04 kHz微陀螺的闭环恒幅自激振动。
- 王俊杰车录锋李玉芳熊斌谢铮王跃林
- 关键词:微机械陀螺自激振动自动增益控制