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上海市青年科技启明星计划(08706200802)
作品数:
1
被引量:3
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相关作者:
禹玥昀
周伟
万星拱
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作者
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胡少坚
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1篇
2009
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电荷泵技术在高压MOS晶体管可靠性研究中的应用(英文)
被引量:3
2009年
主要阐述了电荷泵技术在14 V HV MOS晶体管可靠性研究中的应用。使用了一种改进的电荷泵技术分析了经过热载流子加压后的器件特性。使用这种方法,我们可以精确描述器件损伤的位置和程度,以及可以精确评估由于HCI效应引起的界面缺陷的变化,为器件优化与工艺改进提供重要参考信息。
禹玥昀
唐逸
万星拱
任铮
胡少坚
周伟
李曦
石艳玲
关键词:
电荷泵
热载流子注入
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