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超精密级二维工作台的自标定被引量：17: 2012年; 为了提高超精密级二维工作台的运动定位精度,提出了一种实现工作台系统误差分离的二维自标定算法。基于工作台测量误差模型,该算法利用辅助标记板的5个不同测量位姿,分别得到迭代模型和迭代初始值,最终建立完整的迭代二维自标定模型。应用该算法对系统误差为0.2μm的二维工作台进行仿真,结果显示:当不存在随机测量噪声时,标定精度为0.33nm;引入随机测量噪声时,标定精度与噪声同一量级。对x、y向给定测量精度分别为2.98μm和3.22μm的二维工作台进行自标定,得到x、y向测量精度分别为2.59μm和3.14μm。提出的自标定算法对随机测量噪声有很好的鲁棒性,能够用于精密或超精密级二维工作台自标定。; 崔继文刘雪明谭久彬; 关键词：自标定误差分析

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国家高技术研究发展计划(2012AA040508)