中国博士后科学基金(20100481237)
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
- 相关作者：柯学李经民段亚杰刘冲更多>>
- 相关机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：化学工程更多>>
- 低变形镍模具微电铸加工的工艺优化(英文)被引量：1
- 2013年
- 微电铸工艺提供了一种有效的技术手段来制造金属模具,这种金属模具可被用于微图形的复制.模具的微电铸加工存在一个瓶颈问题:模具表面的不平整.金属模具的弯曲是造成模具表面不平整的主要原因之一.金属模具的弯曲变形会对微结构的复制精度产生影响.为了获得低变形镍模具,对微电铸工艺参数进行了优化.优化后的微电铸液中含有的镍离子质量浓度为80～90 g/L,硼酸的质量浓度为40～45 g/L,并且加入了0.3%L-1的润湿剂,其pH值控制在3.7～4.2之间.微电铸液的温度保持在50～55℃.在微电铸过程中,采用了电流密度为2～3A/dm2的脉冲电流,占空比为0.2.结果表明:采用优化后的工艺参数,可以获得低变形的镍模具,其变形量下降了19%.利用优化后的微电铸工艺,加工了一种可以用于热压工艺的镍模具,模具上的图形线宽为5μm,深度为5μm.
- 刘冲柯学李经民段亚杰
- 关键词：微电铸
