国家教育部博士点基金(20010007010)
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 相关作者：欧毅孙雨南崔芳崔建民陈大鹏更多>>
- 相关机构：北京理工大学中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 硅微机械F-P腔结构及电场的有限元分析被引量：1
- 2002年
- 提出一种硅基底微机械 F- P腔结构 ,通过作为上反射镜的弹性膜的移动改变 F- P腔的腔长 ,从而实现调谐的目的 .利用有限元软件对其不同参数下的力学性能、电场耦合特性进行了有限元的计算机模拟与分析 .从分析结果可知 ,弹性膜在所要求的工作范围内有足够的强度承受外加电压所产生的电场力的作用 ,而且弹性膜移动时仍然能够与下反射镜保持平行 ,从而保证了 F- P腔的平行度 ,保证其作为滤波器或衰减器时的工作精度 ,为硅微机械 F-
- 欧毅孙雨南崔芳崔健民
- 关键词：有限元法支臂
- 硅微机械FP腔器件机电特性模拟
- 2006年
- 介绍了一种硅微机械FP腔器件,该器件作为光学滤波器、光学衰减器等在光纤通信技术中具有广泛应用·采用化学气相沉积、刻蚀、金属蒸发等工艺对该器件进行加工,并利用湿法腐蚀释放使其形成悬空结构,悬空膜采用静电激励驱动·分析了器件的基本原理、工作范围、静电激励的阈值电压等特性,并指出了影响阈值电压大小的因素·
- 欧毅孙雨南陈大鹏崔芳
- 关键词：光纤通信阈值电压
- 硅微机械F-腔可变衰减器光学特性分析被引量：1
- 2002年
- 一种新型的硅微机械F P腔可变衰减器 ,具有体积小、插入损耗低、调节精度高等优点 ,介绍了其基本结构、基本原理。分析了F P腔两个反射镜的光学特性对F P腔性能的影响 ,包括两反射镜反射率对插入损耗、最大衰减量、工作范围的影响 ,以及F P腔腔长与衰减量之间的关系 ,分析了这种衰减器的带宽响应。衰减器体积只有 2 0 0× 2 0 0× 30 0 μm左右 ,插入损耗小于 2dB ,最大衰减量为 44dB左右。
- 欧毅孙雨南崔芳崔建民
- 关键词：光学特性硅微机械F-P腔可变衰减器光纤通信
