国家自然科学基金(60708013)
- 作品数:8 被引量:26H指数:3
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- 相关领域:理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 基于光谱型白光干涉仪的绝对距离测试研究
- 2010年
- 采用微型光纤光谱仪记录宽波段(450~900nm)下的光谱干涉图,提出一种解包络线的方法来提取相位主值,同时由总光程差与棱镜折射率成正比的关系进行相位解包裹.由线性关系的斜率和截距分别求解得到棱镜的等效厚度和两参考镜之间的绝对距离.利用该方法测试了参考镜在不同位置处的距离,结果与千分尺数值之间的偏差小于1%,同时获得了99.9%的线性度.还测试了BK7玻璃的厚度,与其他方法相比,其精度达0.21%.分析了影响测试精度的因素,并对测距范围进行了讨论.
- 薛晖倪肖勇沈伟东章岳光刘旭顾培夫
- 关键词:测距光纤光谱仪
- 电子束蒸发玻璃薄膜中间层的阳极键合研究被引量:3
- 2008年
- 介绍了一种用电子束蒸发Schott 8329玻璃薄膜作为中间层,实现硅-硅以及硅-SOI阳极键合的方法。调整蒸发时的工艺并且450℃退火,沉积了粗糙度9.62 nm、初始应力139 MPa、喷点较少的薄膜,从而获得了>95%的键合面积。键合电压20 V,温度300℃~500℃下硅-硅的键合强度可达1.47 J/m2,同时分析了键合电流特性。400℃,40V下键合了Si和SIMOXSOI硅片,用TMAH溶液进行基底减薄,获得了厚介质层薄顶层硅结构,这为一些MEMS器件的制作奠定了基础。
- 沈伟东吴亚明章岳光刘旭顾培夫
- 关键词:微机电系统阳极键合玻璃薄膜电子束蒸发键合强度
- MEH-PPV和PFO发光薄膜的光学常数和厚度测定被引量:1
- 2009年
- 采用单反射率曲线拟合的方法,测定了聚合物电致发光器件(PLEDs)中常用的发光聚合物poly[2-me-thoxy-5-(2-ethyl-hexyloxy)-1,4-phenylenevinylene](MEH-PPV)和poly(9,9-dioctylfluoreny-2,7-diyl)(PFO)的光学常数和薄膜厚度。基于Forouhi-Bloomer(FB)色散模型,拟合得到了两种聚合物在可见波段的光学常数以及薄膜厚度。折射率和光学带隙的拟合结果符合文献报道的数值,各薄膜物理厚度的拟合值同样符合台阶仪的测量值,两者偏差小于4%。最后,对反射率测量过程中薄膜表面散射引起的损失对拟合结果的影响进行了讨论。
- 朱德喜沈伟东甄红宇
- 关键词:光学常数厚度MEH-PPVPFO
- 钛宝石飞秒激光器用色散补偿Gires-Tournois镜的研究
- 2011年
- 根据钛宝石飞秒激光器的色散补偿要求设计了单次反射平均补偿量为-60fs2的GT(Gires-Tournois)镜,采用离子束辅助沉积技术结合光学监控技术制作了器件.用分光光度计对650—950nm波段薄膜反射率进行测试,结果表明反射率测试曲线与设计曲线十分符合,同时利用白光干涉系统对群延迟色散进行了测试,测试结果与设计符合得很好,实际的色散曲线振荡基本控制在±20fs2以内.应用该GT镜进行钛宝石飞秒激光系统的色散补偿,取得了很好的锁模效果,得到了29fs的超短脉冲.
- 马群章岳光沈伟东罗震岳张青张淑娜叶蓬袁文佳刘旭魏志义
- 关键词:色散补偿离子束辅助沉积
- 一种新型的低角度效应的滤波器被引量:13
- 2009年
- 低角度效应的滤波器由高折射率的介质膜和金属膜交替的奇数层膜组成.这种滤波器使用于斜入射光和大光锥角照明时,不仅中心波长移动显著减少,而且特性仍能保持良好.理论和实验表明,这种新型滤波器能突破现用滤波器对入射角和光锥角的限制.实现低角度效应的主要原理是高折射率材料的使用及其诱导透射的实现.
- 薛晖郑臻荣顾培夫张锦龙沈伟东陈海星
- 关键词:光学薄膜
- 离子束溅射制备Nb_2O_5光学薄膜的特性研究被引量:6
- 2011年
- 研究了离子束溅射(IBS)制备的Nb2O5薄膜的光学特性、应力、薄膜微结构等特性,系统地分析了辅助离子源的离子束能量和离子束流对薄膜特性的影响.结果显示,在辅助离子源不同参数情况下,折射率在波长550nm处为2.310—2.276,应力值为-281—-152MPa.在合适的工艺参数下,消光系数可小于10-4,薄膜具有很好的表面平整度.与用离子辅助沉积(IAD)制备的薄膜相比,IBS制备的薄膜具有更好的光学特性和薄膜微结构.
- 袁文佳章岳光沈伟东马群刘旭
- 关键词:离子束溅射光学特性
- 利用白光干涉技术测量块状材料的群折射率被引量:1
- 2011年
- 对群折射率的精确而快速测量是光学工程领域一个基础而又亟需解决的难题,本文提出了一套光谱型迈克尔逊白光干涉系统的解决方案.该系统充分利用了微型光纤光谱仪一次测量便可获得所有干涉信息的特点,无需机械扫描装置,具有结构简单和测量快速的优点.与传统的窗口傅里叶变换算法相比,本文采用小波变换直接从干涉信号的小波脊中提取群延迟,减小了由相位求导得到群延迟过程中引入的误差放大效应,进而提高了群折射率的测量精度.基于此迈克尔逊白光干涉系统,在不同干涉位置处对两块不同厚度的石英和BK7玻璃进行了测量,实验结果表明此方法在宽光谱范围内具有较高的测量精度和良好的重复性.
- 张淑娜罗震岳沈伟东刘旭章岳光
- 关键词:白光干涉小波变换傅里叶变换
- Solc型液晶可调谐滤光片的研究被引量:2
- 2010年
- 对Solc型滤光片基本原理的分析,表明改变单轴晶体光程差就可实现可调谐滤光。向列相液晶具有电控双折射效应,因此提出利用平行定向的向列相液晶盒作为电控双折射相位元件构成可调谐的Solc型滤光片。设计并制作了一种具有代表性的六片式扇形结构形式。实验表明,该器件具有良好的调谐性能,可实现在450~650nm区间光谱分辨率小于93nm和在550~650nm区间光谱分辨率20nm的可调谐滤光。Solc型滤光电具有透射率高、旁瓣少的优点,可应用在要求高透射率的场合。
- 杨国伟郑臻荣李海峰刘旭
- 关键词:光谱学双折射液晶