国家自然科学基金(50275048)
- 作品数：8 被引量：40H指数：4
- 相关作者：范光照刘玉圣陈叶金李瑞君程方更多>>
- 相关机构：合肥工业大学台湾大学更多>>
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- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信一般工业技术更多>>
- 微器件表面3D形貌的新型微/纳米探头测量系统被引量：7
- 2006年
- 采用DVD光碟机的激光读取头,开发出微器件表面3D形貌的新型微/纳米测量系统。分析了激光读取头内部结构与运作原理,当反射面不在聚焦位置时,经四象限传感器探测聚焦误差信号(FES),驱动音圈马达以带动物镜重回聚焦位置,完成自动聚焦过程。并对音圈马达具有的磁滞现象加以研究,应用Preisach磁滞模型补偿磁滞误差,进而提高激光读取头在测量方面的精确度。结合HP激光干涉仪对测头不同测量范围的标准差与重复性进行校正测量,由校正的结果分析,此测头系统可实现微器件表面3D形貌的微/纳米测量。
- 陈叶金范光照刘玉圣
- 关键词：计量学音圈马达
- 线结构光传感器的精度分析及优化设计被引量：4
- 2004年
- 文章首先建立了线结构光传感器的数学模型,并通过成像关系分析建立了CCD敏感面积、测量范围及传感器结构参数间的联系,进而对传感器的测量误差进行深入分析。考虑到随机误差在实际应用中不易被修正,所以又建立了与传感器独立结构参数之间的关系,利用最优化方法得出了传感器独立结构参数的最优解,通过仿真法对优化结果进行验证,并给出了设计实例。
- 李瑞君范光照吴彰良
- 关键词：结构光传感器结构参数误差分析优化设计
- 基于衍射光栅的二维纳米位移测量技术被引量：9
- 2007年
- 提出了一种基于正交衍射光栅作为测量基准元件的二维激光干涉测量系统.利用正交光栅的空间对称级的衍射光进行干涉,基于多普勒效应,采用偏振检测的方法获得相位相差90°的干涉信号.通过光电检测把获得的正弦和余弦信号进行相位细分,系统可在平面二维方向上实现纳米级的分辨率.该系统相比其他干涉测量系统,测量结构紧凑,环境因素对其影响较小,可应用于较大行程的平面微位移精密检测.
- 夏豪杰费业泰范光照程方
- DVD激光读取头音圈马达寻迹静态特性研究被引量：4
- 2006年
- 采用CCD的图像边缘检测方法测量DVD激光读取头音圈马达(VCM)寻迹的静态特性。通过系统的架设测量音圈马达驱动电压与音圈马达弹性臂影像在CCD中对应的位置,经过图像边缘检测软件处理,得到音圈马达寻迹单方向的驱动电压与对应位移的关系。实验结果表明,音圈马达寻迹单方向的线性范围大约为300μm,双方向运动为600μm,从实验曲线数据处理得到线性范围内存在的磁滞误差,并对磁滞误差进行了分析。
- 陈叶金范光照刘玉圣
- 关键词：图像边缘检测音圈马达寻迹
- 一种新型光纤传像微三维测量系统被引量：7
- 2004年
- 根据结构光测量原理,利用光纤传像束所具有的自由度大、能弯曲及易实现长光路等特点,结合数字条纹投影技术和相移法测量技术,提出了一种新型微三维测量系统.因为从投影仪投射出来的光栅条纹是经光纤传像束及其两端的光学系统投射到被测物体上的,所以与其它同类系统相比,该系统降低了对被测物体方位的要求,从 而使测量更加方便,拓展了微三维测量系统的适用范围.构建了测量系统,并对不同对象进行了测量,且重构出了 被测物的三维形貌,验证了系统的可行性.
- 范光照李瑞君宋欣明
- 关键词：光纤光栅投影仪三维形貌三维测量系统结构光
