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北京市科技计划项目(D121100001812002)
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
相关作者:
王波
王如志
陈程程
刘立英
宋雪梅
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相关机构:
北京工业大学
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发文基金:
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严辉
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宋雪梅
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刘立英
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陈程程
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王如志
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王波
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2013
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不同基底的GaN纳米薄膜制备及其场发射增强研究
被引量:5
2013年
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si及SiC基底上制备了相同厚度的GaN纳米薄膜并对其进行了微结构表征及场发射性能测试分析.结果表明:基底对于GaN薄膜微结构及场发射性能具有显著的影响.在SiC基底上所制备的GaN纳米薄膜相对于Si基底上的GaN纳米薄膜,其场发射性能得到显著提升,其场发射电流可以数量级增大.场发射显著增强应源于纳米晶微结构及取向极化诱导增强效应.本研究结果表明,要获得优异性能场发射薄膜,合适基底及薄膜晶体微结构需要重点考虑.
陈程程
刘立英
王如志
宋雪梅
王波
严辉
关键词:
基底
GAN
场发射
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