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国家自然科学基金(90101020)
作品数:
1
被引量:23
H指数:1
相关作者:
袁惠
周进
王晓伟
黄信凡
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相关机构:
南京大学
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江苏省自然科学基金
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相关领域:
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黄信凡
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周进
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袁惠
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1篇
2002
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一维深亚波长光栅的耦合波分析及偏振特性的研究
被引量:23
2002年
讨论了一种新的一维深亚波长光栅,其周期结构由等离子体增强化学气相淀积法(PECVD)制备的周期性多层膜构成。简单介绍了这种深亚波长光栅的制作方法。采用严格耦合波分析(RCWA)理论计算了这种一维深亚波长光栅的衍射效率,分析了它的偏振特性。
袁惠
周进
王晓伟
黄信凡
关键词:
偏振特性
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