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国家自然科学基金(50572108)

作品数：1 被引量：19H指数：1
相关作者：张广安王霞闫鹏勋陈友明王鹏更多>>
相关机构：中国科学院兰州大学更多>>
发文基金：中国科学院“百人计划”国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇性能研究
  • 2篇含铝
  • 1篇英文
  • 1篇中频磁控溅射
  • 1篇膜结构
  • 1篇摩擦磨损性能
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇类金刚石
  • 1篇类金刚石薄膜
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射沉积
  • 1篇DLC薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射沉积

机构

  • 3篇中国科学院
  • 2篇兰州大学

作者

  • 2篇张俊彦
  • 2篇张广安
  • 1篇王鹏
  • 1篇王鹏
  • 1篇陈友明
  • 1篇闫鹏勋
  • 1篇王霞

传媒

  • 1篇摩擦学学报（...
  • 1篇先进润滑抗磨...

年份

  • 1篇2008
  • 2篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
含铝类金刚石薄膜的结构及机械性能研究
类金刚石碳(DLC)薄膜具有高硬度、低摩擦系数、高耐磨性以及良好的化学稳定性、导热性、电绝缘性、光透过性和生物相容性,作为新型功能薄膜材料在机械耐磨涂层、光学窗口、微电子机械系统(MEMS)以及半导体材料等方面具有广阔的...
张广安王鹏陈友明王霞闫鹏勋张俊彦
文献传递
类富勒烯结构DLC薄膜(英文)
Outline Motivation Superlubricity Fullerene-like structure MoS Fullerene-like structure DLC films Tribology of...
张俊彦
文献传递
中频磁控溅射沉积含铝类金刚石碳膜结构及其摩擦磨损性能研究被引量：19
2008年
采用中频磁控溅射技术在单晶硅表面制备含铝类金刚石(Al-DLC)薄膜,利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪、红外光谱仪、纳米压痕仪和微摩擦磨损试验机等考察薄膜表面形貌、结构及其摩擦磨损性能.结果表明:所制备的Al-DLC薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,应力较低,硬度较高;薄膜与Si3N4陶瓷球对摩时显示出良好抗磨减摩性能;加基底偏压所制备薄膜的摩擦系数明显降低,耐磨寿命显著提高.
张广安王鹏陈友明王霞闫鹏勋张俊彦
关键词：中频磁控溅射摩擦磨损性能
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