您的位置： 专家智库 > >

国家高技术研究发展计划(2006AA03Z353)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：徐文东范永涛郭传飞曹四海刘前更多>>
相关机构：国家纳米科学中心中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇自动聚焦
  • 1篇微纳加工
  • 1篇激光
  • 1篇激光直写
  • 1篇高准确度

机构

  • 1篇中国科学院上...
  • 1篇国家纳米科学...

作者

  • 1篇刘前
  • 1篇曹四海
  • 1篇郭传飞
  • 1篇范永涛
  • 1篇徐文东

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
高准确度多功能激光直写装置
2009年
采用高数值孔径物镜和高准确度纳米平台搭建了一台激光直写装置,可以在光敏感薄膜材料上进行打点、刻画矢量和标量图形等多种操作,其最小特征尺寸小于300nm,重复性5nm.在刻写前准确标定刻写激光功率,刻写过程中采用象散法精确自动聚焦,刻写完成后采用两种不同波长的激光束探测样品的透过率和反射率的细微变化,最终实现了高准确度亚微米图形的刻写和检测.
范永涛徐文东刘前郭传飞曹四海
关键词：激光直写微纳加工自动聚焦
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0