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辽宁省自然科学基金(201102229)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：焦念东高宏伟刘连庆张晓龙更多>>
相关机构：中国科学院沈阳理工大学更多>>
发文基金：辽宁省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇雕刻机
  • 1篇制作方法
  • 1篇数控
  • 1篇数控雕刻机
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇微流控
  • 1篇微流控芯片
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇沈阳理工大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇张晓龙
  • 1篇刘连庆
  • 1篇高宏伟
  • 1篇焦念东

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于数控雕刻机的微流控芯片制作方法被引量：1
2013年
介绍了一种基于数控雕刻机的简捷微流控芯片制作方法。结合数控雕刻机加工模式中平行粗加工和等高线细加工的优点,设计并提出了一种不对称路径加工方法,有效避免了微结构在加工过程中出现断裂、扭曲及其附近大量残渣堆积等现象。相对于传统基于微电子机械系统(MEMS)工艺的微流控芯片加工过程(涂胶、曝光、显影等工艺),该方法简捷易行,整个加工过程仅需3 h。实验结果表明芯片通畅性与密封性良好,满足实验要求。这种制作方法可以极大减少微流控芯片的加工时间和成本,为实验室微流控芯片的结构设计和前期原理验证提供了一种简捷有效的途径。
张晓龙高宏伟焦念东刘连庆
关键词：微流控芯片数控雕刻机微细加工
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