中央高校基本科研业务费专项资金(90403002)
- 作品数：2 被引量：13H指数：2
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- 电子束蒸发氧化钛薄膜的化学成分与显微结构被引量：4
- 2010年
- 用电子束蒸发的方法在Ti盘上沉积氧化钛薄膜。分别用场发射扫描电镜,X射线光电子谱和X射线衍射分析所制备薄膜的表面形貌、化学成分和晶体结构,所制备的氧化钛薄膜的晶体结构依赖于制备过程中的沉积参数,薄膜的成分主要为金红石结构,是包含TiO2,Ti2O3和TiO三种结构的多晶体,随着沉积过程中氧气流量的增加,所制备的薄膜中高价钛离子(如Ti4+)的含量不断增大,同时低价钛离子(如Ti2+)的含量不断减小。随着氧气流量的增加和后续热处理温度的升高,薄膜的结晶度不断增大,并呈现出单一金红石(101)相位的趋势。
- 蔺增王永韩永超巴德纯刘春明
- 关键词：氧化钛薄膜电子束蒸发化学成分结构特性
- 联合载荷下无裂纹DLC薄膜的内应力有限元分析被引量：9
- 2011年
- 本文用有限元分析的方法,对受法向和切向联合载荷作用下的无裂纹类金刚石(DLC)薄膜系统内部应力进行了模拟计算,分析了不同摩擦系数和膜厚比对于内部应力的影响,数值模拟结果表明:较大的摩擦系数可以使得界面处剪切应力和Mises等效应力以及y轴Mises等效应力显著增大,而对于界面处的y向压应力影响不是很大。在一定的范围内(0
- 蔺增孙少妮王永巴德纯韩清凯刘春明
- 关键词：DLC薄膜有限元分析应力分析
