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山东省科技发展计划项目(2006GG1103046)
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
相关作者:
李娟
王英民
胡小波
高玉强
宁丽娜
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相关机构:
山东大学
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发文基金:
山东省科技发展计划项目
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李娟
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年份
1篇
2008
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硅粉形貌对人工合成高纯碳化硅粉料的影响
被引量:4
2008年
合成了适于半绝缘碳化硅单晶生长的高纯度SiC粉料。实验发现,不同的硅粉形状、粒度以及合成温度、时间都对合成产物的形貌、组成和产率有影响。合成产物的形貌通过扫描电子显微镜(SEM)观察,结构通过粉末衍射法(XRD)测定。结果表明,合成产率与Si粉的表面积有十分重要的关系,表面积越大,合成产率越高。合成温度和时间则决定了合成产物中-αSiC和-βSiC的比例。辉光放电质谱(GDMS)测量了合成产物的杂质含量,表明合成产物符合半绝缘SiC单晶的生长要求。
宁丽娜
胡小波
王英民
王翎
李娟
彭燕
高玉强
徐现刚
关键词:
高纯
碳化硅粉
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