国家自然科学基金(69776037)
- 作品数:31 被引量:289H指数:9
- 相关作者:刘君华朱长纯刘月明张少君常炳国更多>>
- 相关机构:西安交通大学西安理工大学西安科技学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家教育部博士点基金陕西省自然科学基金更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信理学机械工程更多>>
- 适用于硅微谐振器件测量的光纤位移传感器研究被引量:7
- 2003年
- 对一种适用于硅微机械谐振器件测量的光纤位移传感器进行了研究 ,该光纤位移传感器探头采用了单根光纤探测形式和光纤“X”耦合器结构 ,在微弱光电传感信号处理上采用了“锁相放大器”提取方案 ,可以实现对静态位移和振动位移两种场合进行测量 对该传感器的实测结果表明 :该传感器测量范围为 0~ 10 0 μm ,测量灵敏度 3 95mV/μm ,精度等级优于 1% ,重复性优于0 5 % 为作为应用实例 ,运用该传感系统对一种微悬臂梁硅微谐振器件进行了测量 ,成功提取了硅微谐振器件的微弱谐振信号 ,证实了该传感器可以实现对硅微谐振器件的非接触和无损测量 ,并具有非接触、易调试。
- 刘月明田维坚刘君华张少君
- 关键词:光纤位移传感器锁相放大器
- 用声表面波器件实现小波变换被引量:9
- 2001年
- 根据声表面波器件的卷积特性 ,对声表面波器件实现小波变换进行了理论推导 ,说明了用声表面波器件实现小波变换具有的可行性和优越性。根据这些理论设计的实例和模拟结果表明 ,用声表面波器件实现小波变换的方法具有快速、实用和与数字处理系统 (借助 A/D和 D/A变换器 )相兼容等优点 ,对小波变换的应用有重要价值。
- 魏培永朱长纯刘君华
- 关键词:小波变换声表面波器件信号处理
- 遗传算法在电能质量监测装置优化设计中的应用研究被引量:4
- 2000年
- 本文提出了基于遗传算法优化在线电能质量监测仪中的油气分离装置结构参数的一种新方法 ,并进行了分离油中气体实验研究 ,结果表明该方法行之有效。
- 常炳国吴浩扬刘君华郑雪梅
- 关键词:电能质量监测装置优化设计遗传算法供电设备
- 硅微机械传感器的技术特点及发展趋势被引量:16
- 2000年
- 基于硅微机械传感器的技术特点 ,分析了这类传感器的发展趋势 。
- 刘月明刘君华张少君
- 关键词:硅微机械传感器微型化
- MEMS器件各向异性腐蚀过程中的Al连线保护被引量:1
- 2004年
- 微电子机械系统 ( MEMS)器件制造过程中的各向异性腐蚀工序 ,会引起硅片正面的 Al连线被腐蚀 ,造成器件的失效。本文论述了使用一种环氧树脂和聚酰胺调配的胶体将器件正面电路密封起来的方法 ,使 MEMS器件在 85℃ ,浓度为 3 3 %的 KOH溶液里进行各向异性腐蚀 ,可以成功地保护 Al连线。这种方法的使用 ,为
- 李昕朱长纯赵红坡韩建强
- 关键词:MEMS器件各向异性腐蚀环氧树脂
- 新型光纤环敏感元件的研究及应用实例被引量:1
- 2001年
- 本文首先分析了新型光纤环敏感元件的敏感机理 ,给出其微弯光损耗的理论模型 ;然后结合 C型弹簧管设计了一种新颖结构的光纤压力传感器 ,并通过理论分析和实验测试相结合的方法 ,对敏感光纤环元件的直径、匝数以及光纤环在弹簧管上的安装位置进行了优化设计。实测结果表明 :该光纤压力传感器的测压准确度为± 0 .46 %
- 刘月明刘君华张少君
- 关键词:光纤环C型弹簧管压力传感器优化设计
- 半导体微结构间电场的研究
- 1999年
- 分析了半导体表面空间电荷层对深亚微米、纳米尺度下半导体微结构间电场的影响,并同宏观尺寸下采用的金属极板公式进行了比较.结果表明:当半导体微结构间距离在1 μm 以上时,可以忽略半导体表面空间电荷层对微结构间电场的影响;当半导体微结构间距离缩小到亚微米和数十纳米量级时,空间电荷层对微结构间电场分布的影响逐渐增大,此时分析电场一般不能利用金属极板公式.微结构间电场同金属极板近似公式间的相对误差与半导体材料的介电常数、掺杂浓度等因素有关.
- 李炳乾朱长纯刘君华
- 关键词:空间电荷微结构电场强度半导体
- 硅微谐振传感器微弱频率变化的提取新方法被引量:2
- 2001年
- 由于硅微谐振传感器在感测压力、温度变化时存在频率变化较弱的特点 ,提高其灵敏度和测试分辨率显得尤为必要 ,所以提出利用系统从混沌状态到大周期状态转变时所表现出的共振锁频性质 ,进行了传感器微弱频率变化信号的仿真实验提取。将带通采样和降采样应用到信号预处理 ,建立了利用混沌的测试系统 。
- 赵向阳史百舟刘君华
- 关键词:混沌
- 光激光拾自谐振传感器的光学特性及优化设计
- 2002年
- 建立了光激、光拾自谐振多晶硅微机械传感器的多层膜系模型 ,利用该模型对传感器的光学特性进行了理论分析 。
- 李炳乾朱长纯刘君华
- 关键词:光学特性优化设计传感器
- 蓝光聚合物共混材料的发光特性被引量:2
- 2001年
- 研究了不同组成 PVK和 P6 共混材料薄膜的光吸收特性和光致发光特性 .用不同比例 PVK∶ P6 共混材料为发光层和 Alq3为电子传输层合成双层结构的蓝光器件 ,测量器件的电致发光谱、电流 -电压特性和亮度 -电压特性 .结果表明 ,共混材料的光致发光强度比 PVK和 P6 都有明显的增强 ,且随 PVK浓度的增加而增强 ;器件电致发光强度随 PVK浓度的增加而增强 ;不同 PVK掺杂浓度对电致发光器件的开启特性没有明显影响 ,发光亮度随 PVK掺杂浓度的增加而增大 .
- 闫金良赵银女朱长纯
- 关键词:电致发光光致发光激基复合物共混材料