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国际科技合作与交流专项项目(20070806)
国际科技合作与交流专项项目(20070806)
- 作品数:2 被引量:8H指数:2
- 相关作者:张晰哲韩先伟毛根旺陈祖奎栾希亭更多>>
- 相关机构:西安航天动力试验技术研究所西北工业大学上海交通大学更多>>
- 发文基金:国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域:航空宇航科学技术更多>>
- 基于MEMS技术的微型阀研究被引量:3
- 2010年
- 根据微机电系统(MEMS)技术和微型阀技术的研究现状与发展趋势,在微型阀致动机理分析和性能对比的基础上,通过对微型阀结构的理论计算和数值模拟,论证了静电致动和压电致动两种微型阀方案,确定了微推进系统用微型阀的主要技术参数和性能指标;通过结构设计和MEMS工艺攻关,完成了基于MEMS技术的压电致动微型阀原理样件制造,并进行了初步的原理试验验证和性能检测。结果表明,基于MEMS技术的压电致动微型阀原理可行,方案合理;通过进一步的结构优化,解决多层键合和系统封装工艺,可以获得高性能的微型阀,为小型、轻质和集成化微推进系统研制奠定基础。
- 张晰哲唐周强韩先伟管海兵宦飞
- 关键词:微机电系统微推进系统
- FMMR微推进系统推力测量装置研究被引量:5
- 2011年
- 为了对自由分子流微型电阻加热推力器(FMMR)微推进系统的性能进行试验研究,设计了一个基于天平原理的微推力测量装置,装置采用微推力器自重与推力相分离、触点式外接供电和推进系统集成方法,有效消除了供电电缆和推进剂供应管路的影响。结果表明,测量精度可达±8%,能够满足mN级微小推力测量的精度要求;同时,通过对结构进行一定改动,该装置还可用于测量其他集成化微推进系统的推力。
- 栾希亭张晰哲韩先伟陈祖奎毛根旺
- 关键词:微推进系统