国家自然科学基金(61106109)
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 相关作者：焦念东刘连庆刘增磊刘志华高宏伟更多>>
- 相关机构：中国科学院中国科学院大学沈阳理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金辽宁省自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学机械工程更多>>
- 基于AFM的纳米线沉积加工方法被引量：2
- 2013年
- 纳米器件具有巨大的应用潜力,但是纳米器件中各部件的连接问题是困扰纳米器件加工的一个难题.本文介绍了一种基于AFM的纳米线条沉积加工方法,该方法有望用作纳米器件的焊接手段,改善纳米部件的物理固定和电气连接.采用本文的方法,可以加工连续的纳米线条,而不是通过沉积一排点连通成线.该方法包括两个特点,其一是采用电流诱导沉积发生,而不是电压,实验表明施加电流比施加电压得到的纳米线更加平滑连续;其二,AFM沉积加工是基于场蒸发的原理,因此针尖基底距离是影响场蒸发的重要因素,本文采用了一种简便易行的针尖基底距离控制方法,使沉积加工操作简单易行.
- 刘增磊焦念东刘志华王志东刘连庆
- 关键词：原子力显微镜
- 基于数控雕刻机的微流控芯片制作方法被引量：1
- 2013年
- 介绍了一种基于数控雕刻机的简捷微流控芯片制作方法。结合数控雕刻机加工模式中平行粗加工和等高线细加工的优点,设计并提出了一种不对称路径加工方法,有效避免了微结构在加工过程中出现断裂、扭曲及其附近大量残渣堆积等现象。相对于传统基于微电子机械系统(MEMS)工艺的微流控芯片加工过程(涂胶、曝光、显影等工艺),该方法简捷易行,整个加工过程仅需3 h。实验结果表明芯片通畅性与密封性良好,满足实验要求。这种制作方法可以极大减少微流控芯片的加工时间和成本,为实验室微流控芯片的结构设计和前期原理验证提供了一种简捷有效的途径。
- 张晓龙高宏伟焦念东刘连庆
- 关键词：微流控芯片数控雕刻机微细加工
