国家教育部博士点基金(20113218110018)
- 作品数:11 被引量:30H指数:3
- 相关作者:卢文壮左敦稳薛海鹏孙达飞王浩更多>>
- 相关机构:南京航空航天大学安徽理工大学中国科学院大学更多>>
- 发文基金:国家教育部博士点基金国家自然科学基金江苏省高校优势学科建设工程资助项目更多>>
- 相关领域:金属学及工艺化学工程理学更多>>
- 新型损伤容限型钛合金TC21稀土催化固体渗硼被引量:6
- 2014年
- 采用固体粉末渗硼法对新型损伤容限型钛合金TC21表面进行稀土催化化学热处理,通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、能谱(EDS)与金相显微镜(OM)研究了渗层组织形貌和物相组成。结果表明:钛基表面渗硼层包括以整体薄壁状在基体外层分布的TiB2和以须状晶形式在次表层分布的TiB双强化渗层,渗层与基体结合紧密;渗剂中稀土含量对渗层性能的影响存在有最佳值;且发现此方法实现了钛合金TC21表面B、C共渗。
- 朱延松卢文壮左敦稳孙玉利王晗胥军
- 关键词:稀土
- 纳米化学气相沉积金刚石的拉曼光谱被引量:9
- 2013年
- 拉曼光谱是研究化学气相沉积(CVD)金刚石最有效的手段之一。对不同晶粒尺寸的CVD金刚石膜进行了拉曼光谱分析。紫外拉曼光谱的检验表明,紫外光激发的拉曼光谱有效抑制了sp2碳的散射和荧光背景;1140cm-1峰出现在可见光拉曼光谱的原因是反聚乙炔的增多和sp2碳散射的增强。可见光拉曼光谱检测发现随着晶粒的减小,1140cm-1和1460cm-1峰强度增强,金刚石特征峰强度降低同时其半峰全宽(FWHM)变宽,薄膜中sp3碳含量减少;基体材料由硬质合金变为微米金刚石后,金刚石特征峰强度显著增加,FWHM有较大减小,非sp3碳成分含量明显减少。
- 薛海鹏卢文壮孙达飞王浩王正鑫左敦稳
- 关键词:激光技术拉曼光谱
- 模具法制备CVD金刚石热沉片的温度场与流场研究被引量:4
- 2012年
- 本文通过有限元仿真研究了模具法制备CVD金刚石热沉片的温度场和流场,并对制备参数进行了优化。实验与仿真的结果均表明,进气量的大小对衬底附近流场的均匀性影响显著,热丝温度、热丝间距以及热丝到衬底的距离对衬底的平均温度影响显著,热丝间距和热丝温度对衬底温度的均匀性影响显著;模具法制备的CVD金刚石复制了模具型腔,保证了热沉片的结构完整性和尺寸精度,最终制备了精度较高的小型CVD金刚石热沉片。
- 薛海鹏卢文壮沈飞荣孙达飞王浩左敦稳
- 关键词:CVD金刚石热沉温度场流场
- 焊接残余应力引起铣削加工变形的研究
- 2013年
- 焊接过程会产生残余应力,铣削加工后焊接残余应力释放和重新分布对铣削变形产生很大影响。为了研究残余应力释放和重新分布规律,采用有限元方法以最小焊接残余应力作为初始应力对铣削加工进行了数值模拟,获得了焊接试验件铣削加工残余应力和变形,并对焊接残余应力释放和重新分布以及加工变形进行了分析。
- 朱伟军卢文壮刘杨董平和杨波左敦稳
- 关键词:铣削残余应力
- 后处理工艺对硼掺杂金刚石电极膜/基结合性能的影响被引量:3
- 2013年
- 为改善硼掺杂金刚石(boron-doped diamond,简称BDD)涂层电极的膜/基结合性能,利用热丝气相沉积法(HFCVD法)制备了BDD涂层电极,研究了退火时间和退火温度对涂层电极上BDD膜的残余应力和膜/基结合性能的影响。采用XRD残余应力测试仪对BDD膜的残余应力进行了测试,采用压痕法对BDD涂层电极膜/基结合性能进行了检测。结果表明:(1)在测试范围内,随退火温度升高、退火时间延长,后处理效果提高;(2)在退火温度700℃、退火时间3 h条件下,涂层电极上BDD膜的残余应力最大可降低45%,BDD涂层电极膜/基结合性能有所提高。
- 赵鹏左敦稳周春孙达飞薛海鹏卢文壮
- 关键词:后处理残余应力结合力
- 渗硼高速钢表面CVD金刚石膜制备研究被引量:3
- 2013年
- 直接在高速钢表面生长CVD金刚石非常困难。为了克服高速钢中Fe元素对金刚石生长的不利影响,在高速钢表面利用渗硼技术先生成B、Fe的化合物的中间层然后再制备CVD金刚石膜。采用显微维氏硬度计、XRD衍射仪、扫描电子显微镜、激光拉曼光谱和洛氏硬度计对渗硼基体和金刚石膜进行检测,研究渗硼处理对高速钢基体和金刚石膜生长的影响。结果表明:渗硼热处理可以在高速钢表面形成一层致密的B、Fe化合物层,能有效降低Fe元素的不利影响,有利于金刚石的生长,在高速钢表面形成一层高附着的致密金刚石膜。
- 王浩卢文壮薛海鹏孙达飞张林左敦稳
- 关键词:CVD金刚石膜高速钢渗硼
- 选择性刻蚀碳化硅制备金刚石的研究
- 2013年
- 在高温下Cl2+H2体系可促使SiC转化为金刚石。论文从热力学角度分析了Cl2选择性刻蚀SiC制备金刚石时,Cl2和H2对sp2、sp3杂化形式的C-C键的作用机制,从理论上推导了SiC转化为金刚石的气源中Cl2、H2比例范围。建立了SiC结构向金刚石结构转变时形成金刚石团簇的理论模型,根据该模型解释了SCDD膜的增厚机制。
- 王正鑫卢文壮黄群超王晗胥军左敦稳
- 关键词:金刚石碳化硅氯气热力学选择性刻蚀
- 小型精密CVD金刚石热沉片的制备研究
- 2012年
- CVD金刚石具有优异的导热性能,在微电子热沉应用方面有着广阔的应用前景。利用ICP工艺制造了硅模具,利用有限元对CVD系统中硅模具的温度场和流场进行了研究,在硅模具内制备了小型精密CVD金刚石热沉片。试验结果表明模具法能够获得表面品质好、形状和尺寸精度很高的小型金刚石热沉片。
- 沈飞荣卢文壮朱良杰左敦稳严欣
- 关键词:CVD金刚石热沉
- 制备双面大面积BDD电极的HFCVD设备流场仿真与结构设计被引量:2
- 2013年
- 用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备双面大面积掺硼金刚石(BDD)电极时,沉积系统的气体流场均匀性对薄膜质量均匀性有着重要影响。针对大面积BDD电极制备的设备流场问题,采用仿真分析,研究了相关结构与流场的关系。通过设计均匀分散的进出气口以及在基板四周配置宽度为20 mm的减速板,可以有效消除横向流速差和边缘流速峰值,与结构改进之前相比能显著提高流场均匀性,高低流速差值从0.04 m/s降低到0.005 m/s。研究结果为薄膜的均匀制备提供了必要条件。
- 孙达飞卢文壮薛海鹏王浩张林左敦稳
- 光学浮区法生长Si∶β-Ga_2O_3单晶及其光谱研究被引量:3
- 2013年
- 采用浮区法生长了质量较好的Si∶β-Ga2O3单晶,直径约为8 mm,长度约为2 cm。进行了X射线粉末衍射和X射线荧光分析,结果表明所得Si∶β-Ga2O3单晶属于单斜晶系,而且Si确实进入了β-Ga2O3格位中;在室温下测试了Si∶β-Ga2O3吸收光谱,吸收截止边约为255 nm,并分析了退火对吸收截止边的影响;测试了荧光发射谱,研究了不同激发波长对其紫外及紫色波段发光的影响。
- 王璐璐夏长泰赛青林狄聚青牟菲
- 关键词:浮区法光谱