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中央高校基本科研业务费专项资金(HITNSRIF2009150)

作品数:1 被引量:1H指数:1
相关作者:王鑫宇王春雨唐才宇温广武更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇涂层
  • 1篇气相沉积
  • 1篇显微组织
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇SIC
  • 1篇SIC涂层
  • 1篇CVD

机构

  • 1篇哈尔滨工业大...

作者

  • 1篇温广武
  • 1篇唐才宇
  • 1篇王春雨
  • 1篇王鑫宇

传媒

  • 1篇金属热处理

年份

  • 1篇2011
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
石墨表面化学气相沉积SiC及C涂层的制备被引量:1
2011年
以C3H8和CH3SiCl3(MTS)为先驱体原料,用化学气相沉积法在石墨基体表面分别制备了C涂层、SiC涂层。采用X射线衍射仪和扫描电镜分析了两种涂层的成分和表面微观形貌,研究了温度和气体流量对涂层微观形貌的影响。结果表明,当C3H8+N2流量为140 L/h,沉积温度为1300℃时,石墨基体表面可获得致密度较高的C涂层,而且涂层比较平整、均匀,而流量为160 L/h时涂层比较粗糙。当MTS+H2流量为60 L/h、沉积温度1100℃时在石墨基体表面可以形成致密的SiC涂层,1300℃时生长的SiC晶体形貌发生改变,涂层厚度增加,表面有较多圆形凸起。当MTS-H2气体流量增大可使SiC涂层晶粒尺寸增大,但大流量易产生涂层剥落。采用C和SiC共沉积涂层作过渡层,涂层与石墨基体界面结合增强;SiC涂层与石墨基体之间存在厚度较大的过渡区域,过渡区域平均厚度约2μm。
王春雨王鑫宇唐才宇温广武
关键词:SIC涂层显微组织
共1页<1>
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