国家自然科学基金(50475153)
- 作品数：9 被引量：74H指数：6
- 相关作者：褚金奎朴相镐杜小振吴红超张海军更多>>
- 相关机构：大连理工大学教育部更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程动力工程及工程热物理电子电信电气工程更多>>
- 电热微夹钳的热效应分析和数值模拟
- 介绍了一种新型多晶硅电热微夹钳,该夹钳在V形电热微驱动器的作用下,能够产生近似线性的位移和产生较大的夹持力。在全面考虑了空气对流、辐射、热传导及材料特性等各种因素的情况下,建立了该电热微夹钳的有限元模型,利用该模型分别进...
- 郝秀春褚金奎王立鼎关乐
- 关键词：有限元数值模拟多晶硅
- 文献传递
- 微能源的研究现状及发展趋势被引量：8
- 2005年
- 电子产品小型化、微型化、集成化是当今世界技术发展的大势所趋.随着微机电系统(MEMS)技术的发展,与之相关的微能源技术得到人们更多的重视.人们希望MEMS技术和微能源技术互为促进,运用MEMS技术工艺改善和提高微能源的性能,同时微能源以某种方式集成于MEMS中,使MEMS具有更加强大和完备的功能.目前供能问题已经成为MEMS降低成本、进入实用化、自动化的最大障碍.介绍了微能源技术的研究现状和发展趋势,介绍了国际上微型锌镍电池、微型内燃机系统、微型锂电池、微型太阳电池、微型燃料电池和微型同位素电池研究工作的最新进展.简单分析了微能源的发展方向和应用前景.
- 朴相镐褚金奎吴红超杜小振
- 环境振动能收集系统的微型压电悬臂梁设计与制作被引量：8
- 2008年
- 研制长寿稳定电源已经成为微型无线传感网络中的关键技术之一,现有的化学电池容量有限,需要不断的逐个更换耗尽的电池,难以满足无线传感网的实际应用。本文提出利用压电材料的机电耦合特性收集环境振动能,该类型微电源有望成为MEMS提供长期电能。首先分析了利用压电材料收集振动能的原理,对微型悬臂梁结构的设计进行了简单的分析,重点介绍了用MEMS工艺加工微型悬臂梁的工艺流程。悬臂梁结构采用体硅和面硅加工工艺相结合,体硅工艺包括湿法和干法刻蚀硅及表面层结构,金属Pt层刻蚀等,面硅工艺包括溅射金属薄膜和利用Sol-Gel方法在Si/SiO2/Ti/Pt衬底上制作锆钛酸铅(Pb(Zr0.52Ti0.48)O3,PZT)压电薄膜等。经过反复工艺实验研究,确定一套稳定的微型压电能源的制作工艺流程。
- 杜小振褚金奎张海军朴相镐
- 关键词：微电源PZTMEMS
- 压电发电器建模研究被引量：9
- 2008年
- 压电发电器的优化设计必须以模型为基础。提出了一种新的压电发电器模型建立方法,运用该方法分别推导出2种结构的压电发电器的性能参数表达式,实验数据与表达式计算结果比较吻合,证明表达式可以用于压电发电器的性能预测。通过对输出参数表达式进行深入讨论,得出压电发电器的一般特性和相关参数与发电器性能参数之间的关系,可指导压电发电器的优化设计。
- 魏双会褚金奎杜小振
- 关键词：压电效应压电陶瓷
- 图谱法解决连杆机构尺度综合问题的研究进展
- 连杆机构尺度综合问题是机构学研究的重点和难点。本文介绍了利用图谱法解决连杆机构尺度综合问题的基本方法与思路,综述了曲线图谱法和数值图谱法的研究现状,并分别讨论了两种图谱法的存在的问题和发展趋势。
- 孙建伟褚金奎
- 关键词：连杆机构
- 文献传递
- 基于β辐射伏特效应的同位素微电池理论模型研究被引量：9
- 2006年
- 随着微型机械电子系统(MEMS)的发展,微能源逐渐成为MEMS应用中的一个非常关键的问题。在同时考虑了同位素的选择及其衰变类型、粒子能谱、放射粒子能量损失率、半导体特性、载流子的产生与复合等因素的基础上,提出了一个基于β辐射伏特效应的同位素微电池的理论模型。可以用该模型计算出微电池的短路电流和开路电压。得到的模拟结果比引用文献结果稍高,还得到了表面掺杂浓度、结深以及放射粒子活度对电池输出参数的影响。
- 褚金奎朴相镐吴红超
- 关键词：微型机械电子系统
- 柔性结构拓扑优化中几种求解方法的比较被引量：6
- 2005年
- 通过对两种柔性结构的拓扑优化,比较了拓扑优化中三种主要求解方法的优缺点。分别用优化准则法(OC)、序列线性规划法(SLP)和移动渐近线法(MMA)对悬臂结构和力反相机构进行了拓扑设计。OC法通用性差,但效率高;SLP法通用性好,但收敛速度慢,对初值敏感;MMA法计算效率低,但对初值不敏感,比较稳定。
- 褚金奎郝秀春王立鼎
- 关键词：拓扑优化优化准则法
- 压电发电微电源国外研究进展被引量：34
- 2008年
- 微加工技术极大地促进了各类传感器系统的微型化、集成化,使微机电系统(MEMS)功能越来越强,功耗、体积越来越小,而微能源部分却日益成为MEMS微型化设计的瓶颈。该文系统介绍了一种在MEMS应用中有极具发展潜力的能源供应方式——压电微能源。压电微能源可通过收集环境能量来发电,具有长寿命、高能量密度、与MEMS工艺兼容等优点,在微系统中具有广泛的应用前景。
- 褚金奎杜小振朴相镐
- 关键词：微电源压电发电
- 空间连杆机构轨迹综合的Fourier级数法
- 从空间连杆机构连杆曲线的 Fourier 级数表达式入手,解决了空间连杆机构连杆曲线的数学描述问题。通过分析找到了连杆曲线谐波特征参数与连杆转角算子谐波特征参数之间的内在联系,在此基础上给出了轨迹综合的步骤,为解决空间连...
- 孙建伟褚金奎
- 关键词：空间连杆机构
- 文献传递
- 一种制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺
- 2008年
- 开发了一种利用SU8胶剥离工艺制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺,通过使用BP212正胶作为牺牲层,有效地解决了在制作沟槽型同位素微电池表面电极时,堆胶以及沟槽中SU8胶不易去除的难题。该工艺操作简单、可靠,成本低,因此具有很大的实用价值。
- 朴相镐王培超褚金奎
