上海交通大学微电子学院
- 作品数：778 被引量：1,807H指数：17
- 相关作者：史常忻谢凯年汤玉生莫亭亭冯晓东更多>>
- 相关机构：中国科学技术大学物理学院近代物理系中国科学技术大学物理学院上海理工大学光电信息与计算机工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划上海市浦江人才计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程理学更多>>
- RFID射频识别技术市场应用前景
- 2006年
- 射频识别技术在国外发展非常迅速，已被广泛应用于工业自动化、商业自动化、交通运输控制管理等众多领域。尽管我国射频识别技术起步较晚，射频识别技术应用状况还处于初级阶段，但市场前景非常广阔。
- 钱国平
- 电流模式PWM升压变换器的斜率补偿电路被引量：5
- 2007年
- 本文通过介绍电流模式PWM升压变换器的工作原理,分析了斜率补偿对于大信号稳定的必要性,提出了斜率补偿电路的实现方法,使得补偿斜率与输出电压和输入电压的差值成正比,并给出了斜率补偿电路的hspice仿真结果。
- 汪岭谢憬
- 关键词：电流模式
- 0．13μmDSP芯片静态电流测试失效分析研究被引量：1
- 2008年
- 静态电流(IDDQ)测试是一种很灵敏且具有成本效益的集成电路测试技术,针对0.13μm某种DSP芯片在量产初期所遇到的IDDQ测试失效情况,利用激光束诱导电阻值变化(OBIRCH)、电压对比(VC)、扫描电镜(SEM)和聚焦离子束(FIB)等电学与物理失效分析方法,确定由离子注入偏差所引起的MOS器件物理缺陷是造成IDDQ失效的原因,据此进行了离子注入光阻的工艺改进,最终实现了成品率的提升。
- 谈莉汪辉
- 关键词：离子注入成品率
- 90nm技术中接触层Cu扩散缺陷分析与解决方案
- 2008年
- 在90 nm工艺时代,接触孔工艺问题对于提升90 nm产品的成品率具有重要意义。基于在90 nm工艺中接触孔四周存在的较为严重的Cu扩散问题,通过失效分析,确定引起Cu扩散问题的主要原因是由于光刻胶残留造成的。通过合理的设计,优化了光刻胶清洗流程,最终达到成品率提升的目的。
- 阎海滨程秀兰
- 关键词：半导体制造
- 电压衬度像技术在IC失效分析中的应用被引量：3
- 2008年
- 电压衬度像(PVC)技术是用于定位集成电路不可见缺陷的一种有效的失效分析方法,结合聚焦离子束(FIB)精准的微切割技术,可将PVC技术应用于长金属互连线的缺陷定位。主要介绍了PVC技术及其原理,概述了如何在SEM和FIB中应用其工作原理有效地定位IC缺陷位置,并就接触孔/通孔缺陷以及规则长金属导线的失效实例展开讨论和分析。
- 陈琳汪辉
- 关键词：扫描电子显微镜聚焦离子束
- 掩模版雾状缺陷的解决方案被引量：2
- 2008年
- 在光刻波长进入到193 nm之后,雾状缺陷(haze defect)越发严重,研究发现环境是雾状缺陷产生的重要原因。目前晶圆厂主要采用改善掩模版工作环境和存储环境两种方式解决雾状缺陷,通过对这两种方案的对比表明,对掩模版的存储环境进行改善,可有效降低掩模版雾状缺陷的发生频率,提高掩模版的使用寿命,并且整体费用较低,是目前比较可行的方案,掩模版的无S化工艺也是未来发展方向。
- 陈尧黄其煜
- 关键词：掩模版存储环境使用寿命
- 电镀层均匀性的Ansys模拟与优化被引量：15
- 2008年
- 尝试用Ansys有限元软件对电镀过程中电力线分布进行模拟分析.并采用一些辅助措施改进电镀模型,力求使电镀层厚度的均匀性有所提高。模拟分析发现:在阴阳极之间加上一块中间带孔的挡板,可以改善镀层的均匀性。当辅助挡板的孔径为5 cm、且离开阴极5.25 cm时,电镀层厚度的相对误差由无挡板时的41.8%降为24.3%。通过电镀试验验证模拟分析,结果两者显示出较好的一致性。
- 董久超王磊汤俊刘瑞汪红戴旭涵
- 关键词：微机电系统电镀均匀性有限元分析
- MIS反型层太阳电池栅电极间距的研究
- 1995年
- 根据计算得出的ＭＩＳ／ＩＬＰ－Ｓｉ太阳电池的表面面电阻与固定正电荷、界面态间的关系，分析了太阳电池电极栅间距的尺寸范围，并实测了该电池的固定正电荷密度、界面态密度和表面面电阻及电极栅间距对其性能的影响。
- 张怡彬郭里辉徐秀琴
- 关键词：太阳能电池
- 3G手机融合上网卡功能存在的问题及解决方案
- 2010年
- 在展讯公司TD-SCDMA移动电话芯片平台,设计实现了一种附加3G无线上网卡功能的3G移动电话,将无线上网卡功能融合到移动电话上。利用3G手机和数据线,直接将连接的计算机快速接入互联网,实现随时随地的联网。在具体实现过程中遇到了一些关键问题,比如:电话在网、数据并发、大量数据传输、驱动、人机交互等。通过分析和实践,找到了这些问题的一些解决方案并予以实现。
- 卢永琴
- 关键词：3G移动通信TD-SCDMA无线MODEM上网卡
- 一种新的基于信息熵的带噪语音端点检测方法被引量：22
- 2005年
- 在自动语音识别和变速率语音编码技术中,语音端点检测是前端处理的一个重要环节。而在实际的噪声环境下,一些传统的端点检测方法已不适用。该文提出了一种新的基于信息熵的语音端点检测方法,该方法通过对语音信号的短时功率谱进行谱分析,由此构造熵函数作为端点检测的特征参数。实验结果表明,该方法在噪声环境下性能优于传统的基于能量的端点检测方法。而且相对于基于频谱谱熵的算法[1],在低信噪比(SNR<0dB)情况下,该文方法有更好的鲁棒性,可使平均检测精确度进一步提高约5%。
- 严剑峰付宇卓
- 关键词：语音端点检测信息熵功率谱语音识别
