苏州求是真空电子有限公司
- 作品数：55 被引量：13H指数：2
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- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程理学更多>>
- 溅射膜电极与氧化锌压敏陶瓷的界面机制研究被引量：5
- 2014年
- 利用溅射法制备半导体陶瓷表面的电极有着广阔的产业化前景,但关于溅射膜电极与陶瓷表面的界面机制研究尚鲜有报道。本文采用磁控溅射法在ZnO压敏陶瓷表面制备了Cr+Cu电极,通过X射线光电子能谱等技术研究分析了Cr/ZnO的界面反应及界面成分。研究结果表明:常温下Cr膜在氧化锌表面的沉积模式为混态生长模式,在Cr的初始沉积阶段,Cr价层电子与氧化锌表面存在电子转移作用,有氧化态的Cr生成;随着覆盖度的增加,电子转移逐渐减弱,最后Cr完全呈现为金属态的中性吸附。该界面反应生成的化合物对溅射膜电极的欧姆接触,附着力等性能有重要作用,而且能有效阻止电极元素Cu或Ag的纵向扩散。
- 王文婷王德苗郑小婵
- 关键词：ZNO压敏陶瓷欧姆接触
- 一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具
- 本实用新型公开了一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具，包括上掩膜板、样品定位板和下掩膜板；上掩膜板上设有上掩膜开孔、第一紧固孔；下掩膜板上设有下掩膜开孔、定位槽、弹性片、掩膜片和第二紧固孔；下掩膜开孔与定位槽连通；弹性片和...
- 李东滨吴疆秦正春王德苗金浩冯斌
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- 一种分布式磁控溅射靶
- 本发明公开了一种分布式磁控溅射靶，包括自上而下设置的密封罩、真空安装环、绝缘环和阴极板，还包括靶材组件、固定组件和密封圈；在垂直于阴极板的方向上设有若干个安装靶材组件的磁芯孔，所述的磁芯孔的分布与所镀膜的三维产品相对应；...
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- 一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板
- 本发明公开了一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板，包括半环形挡板、两个条状件和膜厚修正板；所述的半环形挡板的横截面为半多边形或者半圆形；所述的两个条状件的延伸方向与半环形挡板的延伸方向相同，且分别与所述半环形挡板的两个端部...
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- 一种旋转磁场平面阴极
- 本发明公开了一种旋转磁场平面阴极，包括屏蔽罩、绝缘基座、冷却池、磁钢旋转装置、靶座和靶，所述屏蔽罩拧接在圆盘形状的绝缘基座的上方，所述冷却池设置在屏蔽罩内，并固定在绝缘基座的上方，所述冷却池内悬置有磁钢旋转装置，所述靶座...
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- 适用于可扰曲材料的等离子清洗装置
- 本实用新型公开了一种适用于可扰曲材料的等离子清洗装置,包括：真空腔体，置于真空腔体内并安装可绕曲材料的卷轮，等离子气体管道，传送可绕曲材料使得可绕曲材料得到均匀清洗的传送组件。本实用新型提供一种根据等离子体源结构设计的清...
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- 一种抬升工具
- 本发明公开了一种抬升工具，包括套筒组件、驱动组件和夹持件，所述套筒组件包括套筒、升降杆和支撑件；所述套筒的壁上设有缺口；所述升降杆设于所述套筒内，其外表面上设有若干个凸起；所述支撑件与所述套筒的外表面相连，用于支撑柱形靶...
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- 新能源汽车逆变器散热片PVD镀膜工艺
- 本发明公开了一种新能源汽车逆变器散热片PVD镀膜工艺，其步骤依次为：除油、热水洗、烘干、喷砂、水洗、用去离子水超声清洗、热水洗、风干、脱水、风干、掩膜装架、等离子活化处理、镀膜、卸载样品。其中镀膜是采用磁控溅射机依次在样...
- 周青松王德苗李劲杰金浩冯斌
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- 一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具
- 本发明公开了一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具，包括上掩膜板、样品定位板和下掩膜板；上掩膜板上设有上掩膜开孔、第一紧固孔；下掩膜板上设有下掩膜开孔、定位槽、弹性片、掩膜片和第二紧固孔；下掩膜开孔与定位槽连通；弹性片和掩膜...
- 李东滨吴疆秦正春王德苗金浩冯斌
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- 适用于可扰曲材料的等离子清洗装置
- 本发明公开了一种适用于可扰曲材料的等离子清洗装置,包括：真空腔体，置于真空腔体内并安装可绕曲材料的卷轮，等离子气体管道，传送可绕曲材料使得可绕曲材料得到均匀清洗的传送组件。本发明提供一种根据等离子体源结构设计的清洗装置，...
- 冯斌金浩王德苗李东滨
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