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广东先导先进材料股份有限公司
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242
被引量:26
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广东先导稀材股份有限公司
有研光电新材料有限责任公司
清远先导材料有限公司
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广东先导稀材股份有限公司
有研光电新材料有限责任公司
清远先导材料有限公司
广东先导稀贵金属材料有限公司
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2017
1篇
2016
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锗抛光片表面清洗研究进展
被引量:1
2021年
论述了锗晶片表面清洗的不同方法以及表面清洗的机理。锗晶片的表面清洗分为干法清洗和湿法清洗。湿法清洗一般采用氧化、剥离的清洗原理,即首先采用氧化性溶液将锗晶片表面进行氧化,然后再用一定的化学方法将晶片表面的氧化物去除,从而实现对晶片表面的清洗。干法清洗是采用气相化学法去除晶片表面污染物,主要包含热氧化法和等离子清洗法。
周铁军
廖彬
马金峰
宋向荣
关键词:
湿法清洗
干法清洗
高纯砷的脱氧装置及方法
本发明提出一种高纯砷的脱氧装置,所述脱氧装置包括一脱氧炉,所述脱氧装置还包括与脱氧炉共用一舱门的一手套箱、与脱氧炉通过一气流管道连接的一真空泵以及与真空泵通过气流管道连接的一尾气处理装置,所述脱氧炉与真空泵之间设有一除尘...
曾小东
刘留
朱刘
郭金伯
陈昭龙
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旋转装置和气相沉积炉
本公开提供了一种旋转装置和气相沉积炉,旋转装置包括旋转轴、开设有第一连接孔和第三连接孔的上盖板、开设有第二连接孔的下盖板、开设有第四连接孔的第一齿轮、第二齿轮和连接杆。旋转轴穿过上盖板、第一齿轮和下盖板并与下盖板连接,第...
余明
朱刘
李房斌
胡丹
谭继军
文献传递
一种抛光载具及抛光机
本实用新型公开了一种抛光载具及抛光机,抛光载具包括抛光盘和设置在抛光盘载物面的凸起;凸起的高度与待抛光晶片的厚度相同,且凸起的一侧能够与晶片解理面的边缘相贴合。在对晶片进行抛光时,将待抛光的晶片固定于抛光盘,并使晶片解理...
马金峰
唐林峰
刘兴达
周铁军
文献传递
清洗装置
本实用新型提出一种清洗装置,用于清洗晶片,所述清洗装置包括一清洗缸、可升降并可旋转的一立柱、安装在立柱上的一底座、一气缸、一端固定在气缸上的一伸缩管、一控制器,所述气缸能够带动伸缩管前后移动,所述气缸的行程受控制器控制,...
刘留
廖彬
周铁军
沈艳东
文献传递
高纯砷的除杂方法
本发明涉及一种高纯砷的除杂方法,其包括如下步骤:S1、石英管预处理;S2、表层砷挥发;S3、破碎、筛分;S4、深度除杂。本方法利用砷在真空条件下可以升华的特性,提供一种高纯砷除Si、S、Na、Mg、Fe、Zn杂质元素的方...
刘留
曾小东
郭金伯
朱刘
何志达
陈昭龙
文献传递
高纯锗粉
本文件规定了高纯锗粉的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。 本文件适用于以高纯二氧化锗为原料经氢气还原后,研 磨、筛分生产的高纯锗粉。
多级异型缓流装置
本实用新型提供了一种多级异型缓流装置,包括:炉体;自上而下沿炉体内壁两侧交替设置的若干个储料盘;所述储料盘包括:盘体;所述盘体边缘设有边框,连接炉体内壁的另一侧设有出料口;通过所述出料口与所述盘体相连楔形溢流口;设置在上...
刘留
罗爱斌
陈章水
周铁军
宾启雄
杨伟
蔡新志
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一种石英管固定装置及其应用方法
本发明公开了一种石英管固定装置及其应用方法。本发明石英管固定装置包括第一石英管和与其开口端卡接密封的卡头,卡头包括冷却液空腔和设有调节阀的第一真空管道,冷却液空腔设有冷却液进口和冷却液出口,第一真空管道与所述第一石英管连...
吕新杨
易明辉
刘建忠
周铁军
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一种硫系玻璃非球面透镜加工工装及其安装方法
本发明公开了一种硫系玻璃非球面透镜加工工装及其安装方法,其中硫系玻璃非球面透镜加工工装包括:用于吸附硫系玻璃非球面透镜的工装本体,且工装本体的中心还开设有用于放置硫系玻璃非球面透镜的凹槽;用于连接工装本体和车床的连接杆,...
朱凌强
王奎
尹士平
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