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济南晶正电子科技有限公司

作品数：274 被引量：0H指数：0
相关机构：中国电子科技集团第二十六研究所杭州左蓝微电子技术有限公司广东广纳芯科技有限公司更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺矿业工程更多>>

合作机构

文献类型

  • 272篇专利
  • 2篇标准

领域

  • 53篇电子电信
  • 36篇一般工业技术
  • 18篇金属学及工艺
  • 12篇矿业工程
  • 8篇文化科学
  • 7篇经济管理
  • 7篇自动化与计算...
  • 6篇化学工程
  • 5篇理学
  • 1篇农业科学

主题

  • 63篇衬底
  • 52篇单晶
  • 52篇电子元
  • 52篇键合
  • 48篇电子元器件
  • 48篇元器件
  • 45篇晶圆
  • 41篇压电
  • 40篇隔离层
  • 39篇电光
  • 35篇晶体
  • 35篇光调制
  • 33篇晶体薄膜
  • 29篇电光晶体
  • 28篇调制器
  • 26篇电光调制
  • 25篇单晶薄膜
  • 24篇电光调制器
  • 24篇离子
  • 22篇抛光

机构

  • 274篇济南晶正电子...
  • 2篇中国电子科技...
  • 2篇华莹电子有限...
  • 2篇无锡市好达电...
  • 2篇广东广纳芯科...
  • 2篇杭州左蓝微电...
  • 1篇山东大学
  • 1篇山东省科学院
  • 1篇厦门大学
  • 1篇烁光特晶科技...
  • 1篇福建晶安光电...
  • 1篇成都泰美克晶...

年份

  • 31篇2024
  • 45篇2023
  • 75篇2022
  • 57篇2021
  • 36篇2020
  • 8篇2019
  • 11篇2018
  • 3篇2017
  • 2篇2016
  • 3篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇2012
共 274 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
波导结构复合衬底的制备方法、复合衬底及光电晶体薄膜
本申请提供一种波导结构复合衬底的制备方法、复合衬底及光电晶体薄膜，其中，所述波导结构复合衬底的制备方法包括在衬底层上制备波导层前体；在所述波导层前体上制备移除层前体；在所述移除层前体上进行刻蚀，形成移除层；在所述波导层前...
王金翠张秀全连坤刘桂银张涛李真宇
文献传递
一种具有图案的薄膜键合体、制备方法及电子器件
本申请公开的一种具有图案的薄膜键合体、制备方法及电子器件，包括：在薄膜基体顶表面制备图案保护层，薄膜基体顶表面的裸露区形成的图案与目标薄膜图案相同；向薄膜基体内进行离子注入，由于图案保护层的保护作用，只在薄膜基体内形成与...
王金翠张秀全张涛刘桂银李真宇
一种改善复合薄膜表面极化反转现象的方法及复合薄膜
本申请公开一种改善复合薄膜表面极化反转现象的方法及复合薄膜，属于半导体制备领域，所述方法利用离子注入‑键合法或者键合‑减薄法，制备复合薄膜，其中，包括制备得到键合体以及对所述键合体热处理的步骤；其中，在对所述键合体热处理...
郑姗姗胡卉胡文李真宇刘桂银刘金鹏
一种复合薄膜加工方法及复合薄膜
本申请提供一种复合薄膜加工方法及复合薄膜，所述方法包括：获取待加工复合薄膜的翘曲度；判断所述翘曲度是否处于翘曲度设定范围内，若是，则获取所述待加工复合薄膜的待去除量；若所述待去除量小于等于2微米，则采用电子束刻蚀工艺的加...
殷菲菲连坤陈明珠王金翠
一种矫正离子注入靶盘剂量差异的装置
本申请提供的一种矫正离子注入靶盘剂量差异的装置，所述装置包括：靶盘，所述靶盘上设置若干靶位，所述靶位用于设置晶圆；靶盘旋转驱动组件，设置在所述靶盘的一侧，输出轴驱动连接所述靶盘，以使所述靶盘旋转；若干晶圆驱动组件，固定设...
张涛胡文胡卉连坤王金翠董玉爽
一种半导体衬底、电子元器件以及半导体衬底的制备方法
本申请提供了一种半导体衬底、电子元器件以及半导体衬底的制备方法，半导体衬底从上至下依次包括：薄膜层、绝缘层、缺陷层以及衬底层；缺陷层包括至少一层多晶硅层以及至少一层非晶硅层；多晶硅层以及非晶硅层交替层叠设置。本申请实施例...
杨超李真宇孔霞李洋洋
文献传递
复合衬底的制备方法、复合薄膜及电子元器件
本申请公开了一种复合衬底的制备方法、复合薄膜及电子元器件，所述复合衬底的制备方法包括：首先，在支撑衬底上制备缺陷层前体；然后，将所述缺陷层前体在第一温度下退火；将退火后的缺陷层前体在第二温度下进行氧化，形成缺陷层和绝缘层...
杨超李真宇张秀全李洋洋
一种复合薄膜结构及其制备方法，及电子元器件
本申请提供一种复合薄膜结构及其制备方法，及电子元器件，复合薄膜结构包括衬底层，形成在所述衬底层顶表面上的第一复合隔离层，及形成在所述第一复合隔离层上的至少两个薄膜层；相邻两个薄膜层之间设有第二隔离层；所述第一复合隔离层包...
张秀全李洋洋朱厚彬李真宇张涛
光波导集成器件
公开了一种光波导集成器件，所述光波导集成器件可以包括：衬底；第一隔离层，位于衬底上；光波导构件，至少部分地嵌入第一隔离层中并与衬底分隔开；过渡层，设置在第一隔离层和光波导构件上；以及光调制层，设置在过渡层上并且与光波导构...
张秀全朱厚彬李真宇薛海蛟李洋洋张涛
文献传递
一种二氧化硅加载条型光波导集成结构及其制备方法
本申请提供的一种二氧化硅加载条型光波导集成结构及其制备方法，包括依次层叠的衬底层、隔离层、光调制层和功能薄膜层；光调制层包括加载条型光波导，以及包覆加载条型光波导的掺杂包层，其中，掺杂包层为掺杂无机材料，加载条型光波导为...
张秀全王金翠刘桂银李真宇张涛杨超孔霞
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