哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所
- 作品数：355 被引量：2,090H指数：22
- 相关作者：宗文俊霍德鸿孙西芝倪海波张秀利更多>>
- 相关机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心哈尔滨医科大学附属第一医院三峡大学机械与材料学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程理学一般工业技术更多>>
- KDP晶体单点金刚石切削表面粗糙度预测及实验研究被引量：5
- 2006年
- 采用单点金刚石切削的方法加工了KDP晶体,利用回归分析的方法建立了表面粗糙度预测模型,达到了在加工前设计、预测和控制表面粗糙度的目的。利用预测模型分析了进给量、切削速度、背吃刀量对表面粗糙度的影响。通过优化设计获得了KDP晶体在该条件下的最佳切削参数,得到的表面粗糙度的最佳估计值为6.3389nm。利用最佳的切削工艺参数,加工出了表面粗糙度值为6.895nm的超光滑表面。
- 王景贺王洪祥毕昕董申张龙江
- 关键词：表面粗糙度
- 微加工中原子力显微镜金刚石针尖的磨损研究被引量：4
- 2001年
- 考察了用原子力显微镜对单晶硅进行微加工时金刚石针尖的磨损行为 ,对针尖的磨损率、磨损机理以及针尖磨损对微加工过程的影响进行了实验研究和理论分析 .结合对单晶硅所进行的摩擦磨损试验 ,应用计算模型得出针尖的磨损率为 1.7× 10 - 1 0 m m3/(N·m) ;通过对针尖磨损特征的原子力显微镜观察 ,结合金刚石针尖上应力集中的有限元计算及单位切削力计算 。
- 赵清亮粱迎春董申
- 关键词：原子力显微镜单晶硅
- 多尺度仿真方法研究综述被引量：10
- 2006年
- 多尺度仿真方法结合了分子动力学方法和有限元原理,可以跨越从宏观到微观的多个尺度,具有分子动力学的精确性,而且计算量相对较小,扩展了分子动力学的应用范围。介绍了国外的多尺度仿真方法的发展及应用概况,阐述了几种较成熟的多尺度仿真方法的基本原理,指出了各自特点及不足,最后对其发展方向作了展望。
- 孙西芝陈时锦程凯初文江
- 关键词：多尺度分子动力学有限元计算机仿真
- 光学自由曲面加工机床在机测量系统精度建模与定量分析被引量：1
- 2019年
- 为了提高光学自由曲面加工机床的整体加工能力,进行在机测量系统的特征测量功能开发。在给出在机测量系统结构构成及功能需求下,进行在机测量系统几何精度建模,进行几何静态误差辨识与补偿,进而规划在机测量系统基本功能工作流程。最后,通过进行多项测量实验,可得到标准平面及凹球面测量不确定度达到微米级,检测面型工件特征测量结果较为稳定。
- 梁坤丁辉程凯
- 关键词：在机测量系统
- 扫描探针显微技术应用于工业技术领域的几个相关问题被引量：5
- 2000年
- 孙涛赵清亮董申
- 关键词：扫描探针显微技术SPMSTM
- 靶丸X射线数字图像的轮廓分析及功率谱评价被引量：5
- 2010年
- 针对多层靶丸X射线数字图像的成像原理和轮廓边缘进行了理论分析;推导了由靶丸边缘特征点确定靶丸圆心和半径的精确最小二乘拟合算法;对于不同类型(阶跃状或屋顶状)的靶丸图像边缘,采用均化二阶微分算法或径向吸收强度最小二乘洛伦兹型拟合寻峰算法获取亚像素精度的靶丸圆周轮廓边缘数据;应用快速傅里叶变换算法对靶丸圆周轮廓数据进行分析,获得了靶丸表面外轮廓或内轮廓模数-功率谱特征曲线。
- 赵学森高党忠马小军唐永建张林孙涛董申
- 关键词：靶丸功率谱ICFSHELL亚像素精度图像边缘
- 基于误差相关性分析的复合伺服控制器设计
- 2007年
- 由于伺服系统控制精度对超精密机床性能具有很大影响,伺服系统控制器方案需要根据实际应用的需求进行设计;而位置跟踪误差是机床伺服系统的主要评价标准之一。本文根据实测数据,提出了基于相关性分析的位置伺服控制器改进方案,对跟踪误差与速度、加速度等进行相关性分析,设计了具有速度、加速度前馈补偿的复合控制器。通过对补偿前后系统响应的实验数据进行比较,可以看出进给伺服系统的控制精度显著提高,有效减少了跟踪误差。
- 周磊陈时锦程凯
- 关键词：伺服控制器复合控制前馈补偿
- 靶丸表面轮廓形貌AFM精密测量及特性评价被引量：15
- 2005年
- 建立了由改造的原子力显微镜(AFM)、精密回转气浮轴系、辅助转位轴系等组成的靶丸表面形貌精密测量系统,气浮轴系的回转精度达0.049μm,实现了对激光核聚变靶丸3个正交方向上完整圆周迹线的测量.对选定靶丸的测量数据进行了球度、表面粗糙度及功率谱分析.结果表明:其球度值为0.42μm;模数范围为2～10,11～50,51～100及101～1 000对应的表面粗糙度值平均为105.7,12.2,6.2,18.25nm;并得出了平均1维功率谱-模数关系曲线.
- 赵学森孙涛高党忠唐永建董申
- 关键词：AFM表面粗糙度功率谱
- 超光滑表面加工方法的新进展被引量：14
- 2007年
- 通过回顾超光滑表面加工技术的发展历程,对多种具有代表性的超光滑表面加工方法的原理和应用作了简单阐述,并重点提出和介绍了一种大气等离子体抛光方法。该方法实现了利用常压等离子体激发化学反应来完成超光滑表面的无损伤抛光加工,并首次引入电容耦合式炬型等离子体源,为高质量光学表面的加工提供了一条新的途径。试验结果表明,在针对单晶硅的加工过程中实现了1μm/min的加工速率和Ra 0.6nm的表面粗糙度。
- 张巨帆王波董申
- 关键词：超光滑表面超精密加工大气等离子体电容耦合
- 精密仪器用超低频非线性并联隔振系统研究被引量：27
- 2004年
- 在分析了负刚度的形成机理基础上 ,设计研制了一种正负刚度并联的新型隔振系统。隔振系统采用负刚度机构在平衡点某一领域内抵消了弹性元件的部分正刚度 ,使隔振系统刚度呈现非线性 ,从而使得隔振系统总刚度趋向于零。经过设计 ,隔振系统具有高的支撑刚度和很低的运动刚度。在隔振系统中 ,可通过调节负刚度机构两端的受力情况来降低其固有频率。大量实验结果表明 ,该隔振系统的固有频率从 10 Hz降到 1Hz,从而使得其隔振频带加宽 ,隔振能力显著提高 ,达到了较好的设计效果。
- 张建卓李旦董申陈明君
- 关键词：精密仪器负刚度非线性隔振系统
