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武汉新芯集成电路制造有限公司

作品数：2,260 被引量：24H指数：2
相关机构：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司华中科技大学中南民族大学更多>>
发文基金：湖北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学医药卫生更多>>

合作机构

文献类型

  • 2,246篇专利
  • 12篇期刊文章
  • 1篇会议论文
  • 1篇标准

领域

  • 28篇电子电信
  • 27篇自动化与计算...
  • 8篇文化科学
  • 3篇机械工程
  • 3篇医药卫生
  • 2篇经济管理
  • 2篇天文地球
  • 2篇化学工程
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇交通运输工程
  • 2篇理学
  • 1篇矿业工程
  • 1篇环境科学与工...
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇社会学

主题

  • 837篇半导体
  • 531篇晶圆
  • 388篇半导体器件
  • 324篇刻蚀
  • 302篇键合
  • 224篇芯片
  • 209篇半导体制造
  • 193篇衬底
  • 168篇半导体制造技...
  • 148篇介质层
  • 141篇传感器
  • 140篇电路
  • 140篇互连
  • 134篇闪存
  • 128篇传感
  • 126篇感器
  • 116篇浮栅
  • 111篇图像
  • 98篇光刻
  • 91篇存储器

机构

  • 2,260篇武汉新芯集成...
  • 108篇中芯国际集成...
  • 3篇华中科技大学
  • 1篇桂林理工大学
  • 1篇武汉大学
  • 1篇武汉科技大学
  • 1篇中南民族大学
  • 1篇武汉理工大学
  • 1篇中国地质调查...
  • 1篇吉林省区域地...
  • 1篇中国电建集团...
  • 1篇上海华力微电...
  • 1篇上海新昇半导...

作者

  • 1篇李享成
  • 1篇王志华
  • 1篇李建松
  • 1篇周文利
  • 1篇李立忠
  • 1篇缪向水
  • 1篇杨磊
  • 1篇卢宾宾
  • 1篇韦龙明
  • 1篇朱伯铨
  • 1篇张聪
  • 1篇陈平安
  • 1篇龚利华

传媒

  • 1篇物理学报
  • 1篇硅酸盐学报
  • 1篇工业卫生与职...
  • 1篇噪声与振动控...
  • 1篇电子工业专用...
  • 1篇集成电路应用
  • 1篇资源节约与环...
  • 1篇电子乐园
  • 1篇地理空间信息
  • 1篇中国宽带
  • 1篇东西南北（教...
  • 1篇桂林理工大学...

年份

  • 102篇2024
  • 178篇2023
  • 200篇2022
  • 226篇2021
  • 211篇2020
  • 299篇2019
  • 292篇2018
  • 229篇2017
  • 128篇2016
  • 178篇2015
  • 103篇2014
  • 24篇2013
  • 17篇2012
  • 61篇2011
  • 11篇2010
  • 1篇2009
共 2,260 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种信号完整性测试装置
本实用新型公开了一种信号完整性测试装置，包括操作校验器、噪声信号发生器、与该操作校验器连接的第一操作信号端、以及与该噪声信号发生器连接的噪声信号输出端，其中，所述操作校验器包括操作控制器和数据校验器，所述数据校验器为信号...
肖光
文献传递
一种液态源存储系统
本发明公开了一种液态源存储系统，包括存储罐体、压力检测器和压力调节器。本技术方案通过增设了压力检测结构和压力调节结构，能够根据实时检测得到的腔体压强进行适应性精准调节，稳定控制前驱体材料对于反应腔室的稳定注入，进而保障反...
张明
文献传递
芯片结构、数据读取处理方法及芯片结构制造方法
本申请公开了一种芯片结构、数据读取处理方法及芯片结构制造方法。本申请芯片结构，通过将两颗及以上芯片采用三维集成的晶圆级键合方式垂直互连，扩大了芯片的容量；通过在芯片的外围控制电路中新增的互连控制模块可实现数据的快速传输，...
沈亮程文静
半导体结构的形成方法及半导体结构
本发明提供了一种半导体结构的形成方法及半导体结构，包括在衬底上形成第一掩模层；刻蚀所述第一掩模层及部分厚度的所述衬底，以在所述衬底中形成至少一个隔离沟槽，所述隔离沟槽的横向宽度尺寸从槽口沿槽底逐渐减小；填充隔离材料层于所...
肖庆
一种对晶圆表面颗粒物进行去除的方法
本发明提供了一种对晶圆表面颗粒物进行去除的方法，应用在离子注入工艺中，其中，提供一晶圆，所述晶圆的正面覆盖有一层光阻层，所述光阻层上附着有颗粒物，所述光阻层在去除后所述颗粒物掉落于所述晶圆上；包括以下步骤：步骤S1、向去...
马鸣明张伟光彭侃
文献传递
在缺陷检测中设定抽样率的方法以及产线的检测管控方法
本发明提供一种在缺陷检测中设定抽样率的方法以及产线的检测管控方法，所述在缺陷检测中设定抽样率的方法包括：对待测产品进行抽样检测，定义风险系数，所述风险系数由所述待测产品的缺陷状况决定；建立所述风险系数与风险数量的关系：风...
武扬扬
文献传递
键合晶圆制作方法
本发明提供了一种键合晶圆制作方法，包括如下步骤：提供第一晶圆和第二晶圆，并在所述第一晶圆的第一面与所述第二晶圆的第一面进行键合工艺形成键合晶圆；在所述键合晶圆的第二晶圆的第二面形成保护层；以及在所述键合晶圆的第二晶圆的第...
邹文胡胜王喜龙
文献传递
凹陷缺陷的检测方法以及用于检测凹陷缺陷的晶圆
本发明提供一种凹陷缺陷的检测方法以及用于检测凹陷缺陷的晶圆，所述凹陷缺陷的检测方法包括：提供一晶圆，在所述晶圆上形成覆盖层，所述覆盖层的厚度在<Image file="DDA0001498999720000012.GIF...
冯巍董思远郭万里
文献传递
半导体器件及其制造方法
本发明提供一种半导体器件及其制造方法，半导体器件的制造方法包括：提供一衬底，所述衬底包括NMOS器件区和PMOS器件区，所述NMOS器件区和所述PMOS器件区的衬底上均形成有栅极结构；形成缓冲层于所述NMOS器件区和所述...
冯远皓薛广杰李乐
一种深通孔形成方法
本发明提供一种深通孔形成方法，属于背照式图像传感器领域，通过在缓冲层中设置停止层以形成上缓冲层、停止层及下缓冲层，通过两次主刻蚀和两次过刻蚀形成深通孔。本发明的有益效果：本发明通过添加停止层可以增加缓冲层厚度均匀性，减少...
孟凡顺易幻
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