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应用材料股份有限公司

作品数：1,617 被引量：2H指数：1
相关机构：应用材料以色列公司光明乳业股份有限公司黑龙江东方学院更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信金属学及工艺文化科学更多>>

合作机构

文献类型

  • 1,604篇专利
  • 9篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 1篇标准

领域

  • 54篇自动化与计算...
  • 52篇电子电信
  • 46篇金属学及工艺
  • 28篇电气工程
  • 28篇文化科学
  • 19篇化学工程
  • 15篇经济管理
  • 15篇石油与天然气...
  • 14篇机械工程
  • 14篇轻工技术与工...
  • 11篇一般工业技术
  • 9篇交通运输工程
  • 8篇动力工程及工...
  • 7篇理学
  • 6篇建筑科学
  • 4篇医药卫生
  • 3篇核科学技术
  • 2篇天文地球
  • 1篇水利工程
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 201篇基板
  • 148篇衬底
  • 144篇等离子体
  • 126篇基材
  • 120篇气体
  • 96篇制程
  • 95篇半导体
  • 89篇蚀刻
  • 75篇密封
  • 67篇等离子
  • 64篇电池
  • 59篇介电
  • 57篇组件
  • 56篇离子
  • 55篇前驱物
  • 55篇晶片
  • 55篇靶材
  • 53篇退火
  • 51篇含硅
  • 50篇太阳能

机构

  • 1,616篇应用材料股份...
  • 16篇应用材料以色...
  • 1篇黑龙江东方学...
  • 1篇光明乳业股份...
  • 1篇摩托罗拉公司
  • 1篇澳优乳业(中...
  • 1篇黑龙江康普生...

作者

  • 1篇赵晶
  • 1篇王超

传媒

  • 2篇流程工业
  • 1篇活力
  • 1篇船电技术
  • 1篇时代金融
  • 1篇人力资源管理
  • 1篇大众商务
  • 1篇中外食品工业...
  • 1篇理财（审计）

年份

  • 130篇2024
  • 66篇2023
  • 83篇2022
  • 33篇2021
  • 61篇2020
  • 22篇2019
  • 5篇2018
  • 26篇2017
  • 6篇2016
  • 3篇2015
  • 6篇2014
  • 14篇2013
  • 30篇2012
  • 294篇2011
  • 191篇2010
  • 235篇2009
  • 190篇2008
  • 106篇2007
  • 68篇2006
  • 44篇2005
共 1,617 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种一体式多通道阀门
本申请公开了一种一体式多通道阀门，属于乳品及医药行业技术领域，包括中部设有主空腔的通道阀主体，通道阀主体的内部边缘开设有与其主空腔独立连通的副腔室组，副腔室组包括第一副腔室、第二副腔室、第三副腔室以及第四副腔室，通道阀主...
高家辉张周黄文博
一种管道残余物料回收装置
本发明涉及物料回收技术领域，公开了一种管道残余物料回收装置。管道残余物料回收装置包括：发射仓和回收仓，发射仓和回收仓分别设置在输送管道的射入端和射出端，发射仓包括气缸、塞头顶杆、仓体及塞头管，塞头管、仓体及气缸依次连接，...
黄文博杨泽高家辉翁鹏斌
通过热处理从所蚀刻的衬底去除卤素残余物的集成方法
本发明提供了一种从衬底去除挥发性残余物的方法和装置。一个实施例中，于系统中在途中进行挥发性残余物去除工艺同时在衬底上进行卤素处理工艺。挥发性残余物去除工艺在除了卤素处置处理室和FOUP之外的系统中进行。一个实施例中，提供...
马克·纳什·卡瓦吉奇洛金庞布雷特·克里斯琴·胡金森桑迪·M·温史蒂文·H·金肯尼恩·J·巴恩基马修·芬顿·戴维斯索斯藤·莱尔
文献传递
淀积室用圆顶件
本外观设计是一种淀积室用圆顶件，用于淀积室。;其设计要点在于：淀积室用圆顶件的形状造型。;立体图1为最能表明设计要点的图。;图中用平行斜线表示部分为透明。
石川哲也戴维·H·考齐张恩中奥尔加·克利里欧科尤瑞·梅尔尼克哈苏迪普·S·拉迪雅森·T·恩古耶莉莉·潘
文献传递
用于改善工艺均匀度的衬底晕配置
一种衬底支架总成包括衬底台板、晕环及外晕，所述衬底台板被设置成在衬底位置处支撑衬底，所述晕环设置在所述衬底位置周围，所述外晕设置在所述晕环周围且界定第一孔，其中所述外晕被设置成与所述晕环啮合，所述晕环至少局部地设置在所述...
杰伊·R·沃利斯赛门·罗芙尔凯文·R·安葛林泰勒·洛克威尔克里斯多夫·坎贝尔凯文·M·丹尼尔斯理查德·J·赫尔特凯文·T·莱恩
一种太阳能电池正面银铝浆的制备方法
本发明提供一种太阳能电池正面银铝浆的制备方法，属于太阳能电池技术领域。该方法为将玻璃粉原料和磷酸盐化合物混合均匀，高温煅烧，淬冷，粉碎得到掺混玻璃粉一；或将玻璃粉原料和第一磷酸盐化合物混合均匀，在第一高温下煅烧，淬冷，粉...
孙立志周贤界卢晓鹏侯宇航徐红星
采用气体扩散板通道设计的等离子体均匀度控制
本发明为等离子体制程室中用以分配气体的气体扩散板实例。该气体分配板包括一扩散板其具有一上游侧与一下游侧，及多个通过该扩散板上游侧与下游侧间的气体通道。该等气体通道包括中空阴极腔，其位于该下游侧，用以增强等离子体的游离。可...
崔寿永J·M·怀特王群华李侯金棋云栗田直一元泰景S·安瓦尔朴范秀R·L·提纳
文献传递
在经光刻胶涂布的衬底的植入期间确定及校正预期剂量变动的技术
一种方法包括：使用植入配方通过在沿着垂直轴线对涂布有光刻胶层的衬底进行扫描的同时在衬底之上沿着第一轴线对离子束进行扫描来实行植入；使用位于衬底位置的一侧的第一探测器在植入期间测量植入电流(I)；基于植入电流确定差值比率(...
艾利克·唐纳德·威尔森乔治·葛梅尔
铝互连线的可控表面氧化
本发明涉及铝互连线的可控表面氧化，其公开了在可额外选择氩气的纯氧气环境中用于集成电路的可控地氧化(114)铝互连金属化(18)。晶圆从铝溅射期间产生的300℃温度冷却到不大于100℃的温度，从而允许铝处理的晶圆装载到塑料...
米勒·A·艾伦阿诗士·博德克曹勇安东尼·C-T·陈建明·付政·徐康成横山
文献传递
隔离式直线加速器共振器拾波电路
公开一种包括拾波回路以监测对直线加速器的腔室施加的电压的监测电路。监测电路与直线加速器电隔离且也与从电路接收输入且控制直线加速器的控制器电隔离。在某些实施例中，监测电路还包括能量采集器以在与控制器不存在任何实体连接的情况...
基斯·E·卡威尔
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