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北京七星华创电子股份有限公司

作品数：1,319 被引量：203H指数：8
相关作者：吴仪董金卫张豹徐冬裴立坤更多>>
相关机构：信息产业部北方工业大学燕山大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金教育部人文社会科学研究基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程文化科学更多>>

合作机构

文献类型

  • 1,171篇专利
  • 79篇期刊文章
  • 34篇会议论文
  • 14篇科技成果
  • 11篇标准

领域

  • 72篇自动化与计算...
  • 71篇电子电信
  • 24篇机械工程
  • 24篇文化科学
  • 19篇金属学及工艺
  • 19篇电气工程
  • 18篇经济管理
  • 10篇一般工业技术
  • 8篇医药卫生
  • 6篇化学工程
  • 6篇动力工程及工...
  • 5篇石油与天然气...
  • 3篇天文地球
  • 3篇理学
  • 2篇矿业工程
  • 1篇冶金工程
  • 1篇水利工程
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 249篇半导体
  • 174篇硅片
  • 86篇晶圆
  • 79篇传感
  • 78篇晶片
  • 73篇感器
  • 73篇传感器
  • 72篇炉体
  • 72篇控制器
  • 64篇机械手
  • 61篇气体
  • 60篇电路
  • 59篇半导体设备
  • 56篇密封
  • 54篇半导体工艺
  • 53篇氧化炉
  • 48篇流量控制器
  • 46篇立式
  • 44篇卡盘
  • 41篇电池

机构

  • 1,309篇北京七星华创...
  • 8篇信息产业部
  • 4篇北方工业大学
  • 3篇燕山大学
  • 3篇中国电子技术...
  • 2篇北京信息科技...
  • 2篇电子科技大学
  • 2篇北京理工大学
  • 2篇冈山大学
  • 2篇中国电子科技...
  • 2篇青岛港湾职业...
  • 2篇中国电子科技...
  • 2篇北京京仪自动...
  • 2篇中微半导体设...
  • 2篇东莞市中镓半...
  • 2篇工业和信息化...
  • 1篇北京科技大学
  • 1篇宁波大学
  • 1篇吉林大学
  • 1篇江南大学

作者

  • 163篇吴仪
  • 105篇董金卫
  • 83篇孙少东
  • 82篇张豹
  • 78篇徐冬
  • 66篇裴立坤
  • 59篇赵星梅
  • 57篇王广明
  • 54篇赵宏宇
  • 53篇李广旭
  • 52篇钟华
  • 49篇苏乾益
  • 49篇滕宇
  • 47篇李伟
  • 45篇赵燕平
  • 44篇马嘉
  • 40篇何金群
  • 38篇王浩
  • 35篇牟昌华
  • 32篇刘效岩

传媒

  • 25篇电子工业专用...
  • 7篇半导体技术
  • 4篇中国集成电路
  • 4篇第十六届全国...
  • 3篇中国仪器仪表
  • 3篇中国计量
  • 2篇农业机械学报
  • 2篇仪器仪表学报
  • 2篇集成电路应用
  • 2篇项目管理技术
  • 2篇第十三届全国...
  • 2篇中国电子学会...
  • 1篇中外企业文化
  • 1篇计算机光盘软...
  • 1篇北京科技大学...
  • 1篇黑龙江科技信...
  • 1篇流体机械
  • 1篇太阳能
  • 1篇电子测量技术
  • 1篇中国人口·资...

年份

  • 3篇2021
  • 2篇2020
  • 10篇2019
  • 26篇2018
  • 97篇2017
  • 138篇2016
  • 177篇2015
  • 240篇2014
  • 162篇2013
  • 141篇2012
  • 79篇2011
  • 72篇2010
  • 42篇2009
  • 16篇2008
  • 25篇2007
  • 19篇2006
  • 11篇2005
  • 39篇2004
  • 7篇2003
  • 3篇2002
共 1,319 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
波浪形超薄不锈钢箔的成型装置
本实用新型涉及一种波浪形超薄不锈钢箔的成型装置，包括底座压板、两个轧辊组件，所述轧辊组件分别由一个轧辊、一个辊轴、两个轴承、两个轴承座和两个端盖构成，其特征在于，所述轧辊的辊面有细的轴向渐开线齿槽，两个轧辊的渐开线齿槽相...
苏乾益张卫
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微环境的垂直层流系统
本实用新型公开了一种微环境的垂直层流系统，包括：形状为长方体的腔室；风机模块，其内设置有至少一个风机，风机模块设置在腔室内；导流装置，其设置在腔室内；均流装置，其设置在腔室内，并且设置在风机模块和导流装置的下方；设置在所...
韩丽娜吴仪
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一种半导体工艺中控制晶圆冷却的方法
本发明公开了一种半导体工艺中控制晶圆冷却的方法，针对氧化、低压化学气相沉积或低温退火的不同工艺，根据降舟前温度的高低，调整晶舟的降舟速度；同时，根据不同工艺对氧含量要求的不同，调节冷却风速，将氮气流量控制在高低不同的范围...
林伟华王兵兰天宋辰龙
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晶圆清洗装置和清洗方法
本发明公开了一种晶圆清洗装置和清洗方法，清洗装置包括清洗介质喷淋部分和清洗介质控制部分，清洗介质喷淋部分包括喷嘴、连接喷嘴的可移动喷淋管路，清洗介质控制部分包括与一混合腔室并联的第一、第二管路，混合腔室连接喷淋管路；其中...
滕宇
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一种多向移栽机构
本发明涉及晶硅太阳能自动系统物流传输技术领域，尤其涉及一种可以在三轴方向安全、平稳、精确搬运料架的多向移栽机构，该多向移栽机构包括主体支撑框架系统、X轴直线移动系统、Z轴升降系统、Y轴进给系统和前端抓取系统，使抓取装置能...
李广旭王晓飞袁正徐现飞
一种用于半导体热处理设备温度的监控方法及系统
一种用于半导体热处理设备温度的监控方法，该方法包括：设置并获取配置文件；在工艺过程中，发送温度控制的指令和开启异步监控线程；获取所述热电偶监测温度的实际值，并根据产生警告范围值和产生终止范围值，判断超出所述产生警告范围值...
张立超钟结实刘建涛黄扬君
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一种盘状物夹持装置
本发明涉及一种夹持装置，公开了一种盘状物夹持装置，该夹持装置包括卡盘、所述卡盘盘面上放置盘状物，所述卡盘盘面的周向上设有多个机械式夹持元件，所述卡盘内部设有驱动机构，所述驱动机构与多个所述夹持元件连接，用于驱动夹持元件进...
高浩张豹
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一种热处理设备的炉门控制机构
本发明涉及一种热处理设备的炉门控制机构，属于半导体卧式热处理设备技术领域，通过设置动力驱动装置、传动装置以及控制单元，利用花键轴套以及花键轴承之间的传动作用，实现带动炉门旋转与升降的功能。本发明提供的炉门控制机构，可灵活...
贺小平桂晓波王广明
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低压化学气相沉积系统（300mm）
1.本外观设计产品的名称：低压化学气相沉积系统（300mm）。;2.本外观设计产品的用途：用于硅晶片低压气相化学淀积。;主要用于300mm硅晶片多晶硅薄膜淀积和非晶硅薄膜淀积。;3.本外观设计的设计要点：在于产品的形状。...
董金卫宋新丰林欣家
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高温炉的电极冷却装置
本实用新型公开了一种高温炉的电极冷却装置，它包括电极体、水套、进水口、出水口，在水套内还交错装有隔板，隔板长度小于水套宽度，高度与水套内外壁间距离相等，隔板三面装在水套壁上，相邻的隔板装在水套壁的不同侧。这种电极冷却装置...
谭三成
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