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上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室

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上海交通大学电子信息与电气工程学院
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上海交通大学微纳米科学技术研究院
研究主题：MEMS 微机电系统 微电子机械系统 MEMS技术 微陀螺
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上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：MEMS 微机电系统 微电感 微陀螺 力学性能
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