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尹明

作品数：11 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇专利
  • 2篇学位论文

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇纳米
  • 4篇纳米孔
  • 3篇掩模
  • 3篇原子
  • 3篇圆片
  • 3篇圆片级
  • 3篇射频微机电系...
  • 3篇微机电系统
  • 3篇微加工
  • 3篇焊球
  • 3篇封装
  • 3篇浮栅
  • 2篇电极
  • 2篇掩模板
  • 2篇圆片级封装
  • 2篇真空
  • 2篇输运
  • 2篇双稳
  • 2篇双稳态
  • 2篇纳米孔阵列

机构

  • 11篇清华大学

作者

  • 11篇尹明
  • 9篇刘泽文
  • 5篇王政
  • 4篇李祥
  • 4篇司卫华
  • 2篇秦健

年份

  • 1篇2013
  • 5篇2011
  • 4篇2010
  • 1篇2005
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种用于射频微机电系统的圆片级封装机构及方法
一种用于射频微机电系统的圆片级封装机构及方法，利用表面微加工技术和三维光刻技术，将带封装的射频微机电系统器件RF MEMS通过侧面引线连接到焊球9处，从而实现了封装，避免了传统的RFMEMS封装需要打通孔的工艺，有效地保...
刘泽文王政李祥尹明
文献传递
一种纳米制造系统
一种纳米制造系统，包括原子粒子产生系统，原子粒子产生系统与气源连通，原子粒子产生系统与原子输运系统相连，原子输运系统与真空工作室相连，真空工作室内设置有纳米孔阵列掩模板，纳米孔阵列掩模板边缘上方为光学对准系统，下方为纳米...
刘泽文尹明司卫华秦健
一种利用原子束和纳米孔进行微小尺寸图形制作的方法
一种利用原子束和纳米孔进行微小尺寸图形制作的方法，包括以下步骤：一、用微细加工技术，采用干法刻蚀和湿法刻蚀相结合的方法，制作出阵列纳米孔结构，形成阵列纳米孔掩模；二、以原子为工作粒子进行原子刻蚀或者原子沉积加工；三、根据...
刘泽文司卫华尹明
文献传递
一种用于射频微机电系统的圆片级封装方法
一种用于射频微机电系统的圆片级封装机构及方法，利用表面微加工技术和三维光刻技术，将带封装的射频微机电系统器件RF MEMS通过侧面引线连接到焊球9处，从而实现了封装，避免了传统的RFMEMS封装需要打通孔的工艺，有效地保...
刘泽文王政李祥尹明
文献传递
一种高密度的硅基纳米孔的制作方法
一种高密度的硅基纳米孔的制作方法，先在硅衬底的正面覆盖第二保护材料，在硅衬底的背面覆盖第一保护材料，将需要在硅衬底上刻蚀出的图形加工到第一保护材料、第二保护材料上，图形的深度到达硅衬底的表面，然后在硅衬底的背面运用深反应...
司卫华刘泽文尹明
文献传递
一种带有浮栅电极的双稳态桥式微机电开关结构
一种带有浮栅电极的双稳态桥式微机电开关结构，利用微加工技术，在衬底表面制作出带有浮栅的桥式开关结构，通过对驱动电压的设置，对浮栅进行电子注入或抽取，从而实现在没有外加电压的情况下，开关能够自行保持闭合或者断开状态即双稳态...
刘泽文王政李祥尹明
文献传递
一种利用浮栅电极的双稳态微纳悬臂梁开关
一种利用浮栅电极的双稳态微纳悬臂梁开关，包括衬底1，在衬底1上有一个呈反“Z”型的悬梁臂2，悬梁臂2的一端设置有接触点3，接触点3的下方是信号线4，在悬梁臂2与衬底1之间设置有下控制电极5，通过控制电压的设置，对下控制电...
刘泽文尹明王政
文献传递
一种微纳谐振器及其场效应频率测量方法研究
尹明
一种纳米制造系统
一种纳米制造系统，包括原子粒子产生系统，原子粒子产生系统与气源连通，原子粒子产生系统与原子输运系统相连，原子输运系统与真空工作室相连，真空工作室内设置有纳米孔阵列掩模板，纳米孔阵列掩模板边缘上方为光学对准系统，下方为纳米...
刘泽文尹明司卫华秦健
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一种用于射频微机电系统的圆片级封装机构
一种用于射频微机电系统的圆片级封装机构，包括衬底(2)，衬底(2)上设置有RF MEMS器件(1)和信号传输线(3)；衬底(2)通过密封材料(4)与顶盖材料(5)压焊在一起；衬底(2)的四周有斜角(10)，信号传输线(3...
刘泽文王政李祥尹明
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共2页<12>
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