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张敏
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
复旦大学信息科学与工程学院专用集成电路与系统国家重点实验室
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发文基金:
上海市浦江人才计划项目
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
张卫
复旦大学微电子研究院
丁士进
复旦大学微电子研究院
陈玮
复旦大学信息科学与工程学院专用...
廖仲伟
复旦大学微电子研究院
陈伟
复旦大学微电子研究院
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2007
共
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金属纳米晶快闪存储器研究进展
被引量:2
2007年
金属纳米晶具有态密度高、费米能级选择范围广以及无多维载流子限制效应等优越性,预示着金属纳米晶快闪存储器在下一代闪存器件中具有很好的应用前景。从金属纳米晶存储器的工作原理、纳米晶的制备方法、以及新型介质材料和电荷俘获层结构等方面,对金属纳米晶存储器近年来的研究进展进行了总结。
张敏
丁士进
陈玮
张卫
关键词:
金属纳米晶
快闪存储器
Investigation on Memory effects of MOS capacitors with Ru nanocrystals embedded into Al2O3 dielectric
The Al2O3/Ru-nanocrystals/Al2O3 stack structure has been constructed using atomic-layer-deposition technique, ...
张敏
廖仲伟
黄玥
陈伟
丁士进
张卫
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