李雨林
- 作品数：9 被引量：7H指数：2
- 供职机构：复旦大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>
- 超声分子束研究激光诱导Cl_2和Ta表面反应动态学
- 1990年
- 本文研究了在三种不同波长的脉冲激光(365 nm,560 nm和1064 nm)辐照下超声Cl_2分子束与多晶Ta表面的化学反应动态学.由四极质谱和飞行时间增(TOF)测定了产物的质量分布和速度分布.该反应的主要产物为TaCl,TaCl_2,TaCl_3及TaCl_4;它们的TOF谱都可用Maxwell-Boltzmann分布拟合,所得的平动温度分别在500K—1500K范围内.测定了各种产物相对产率与激光能量密度和入的Cl_2分子平动能的关系.此外,对此气-固表面反应的机理进行了讨论。
- 卢平和李雨林张抗战金忠秦启宗
- 关键词：氯钽激光诱导
- Cl_2分子束与InP表面反应研究被引量：1
- 1991年
- 本文采用CW超声分子束以及时间分辨质谱技术研究在紫外(355nm)和可见(560nm)激光照射下Cl_2和InP(100)表面反应产物的质量分布.同时以调制分子束技术和锁相放大探测方法研究了在表面温度300K-800K范围内Cl_2和Inp(100)热反应产物的质量分布。并测定了主要产物信号InCl^+,InCl_2^+,PCl^+,PCl_2^+,PCl_3^+的信号强度与表面温度的关系,对于反应机理作了讨论.
- 金忠李思义李雨林余敏秦启宗
- 关键词：氯分子束INP半导体
- 分子束弛豫谱研究Ge(111)表面与氯分子热反应动态学
- 1990年
- 本文用分子束弛豫谱研究了Ge(111)表面与氯分子热反应动态学。采用种子束技术,发现增加氯分子的入射平动能,将有效地增加Cl_2与Ge表面的化学蚀刻反应。对分子束弛豫谱的数据分析表明,在表面温度T_s为700—900K的范围内,GeCl_2为该反应体系的唯一产物,它的脱附过程是蚀刻反应的速率控制步骤;并且测得脱附活化能E_d为66.0±2.0kJ·mol^(-1)。此外,对该化学蚀刻的反应机理进行了讨论。
- 李雨林蔡中厚孙令虹秦启宗
- 关键词：锗氯
- 时间分辨质谱法研究激光化学蚀刻反应的脱附动力学
- 1990年
- 采用超声分子束和时间分辨质谱技术,对氯分子与Si(111)、GaAs(100)和InP(100)等表面的激光诱导蚀刻反应中的脱附动力学进行了研究.在560nm和355nm脉冲激光辐照下,测量了主要脱附产物的飞行时间谱随激光能量密度(E_L)的依赖关系.发现对所研究的体系均存在激光能量密度反应阈值.数据拟合表明,主要脱附反应产物均具有热平衡的Maxwell-Boltzmann速度分布.进一步分析指出,在超声分子束和脉冲激光条件下,反应中间产物的脱附为蚀刻反应的主要速率控制步骤,并且以激光诱导热脱附为主要机理。
- 李雨林秦启宗
- 关键词：激光
- 用于气-固表面反应研究的多功能分子束实验装置被引量：2
- 1992年
- 本文介绍由复旦大学激光化学实验室建造的一台多功能分子束实验装置,该装置的主要部份包括:配有三级差分抽气系统的CW超声分子束源,在中心部位装有可转动固体样品架的主室,放置四极质谱计的探测室,以及计算机数据采集系统.谈装置中的束源是固定的,而用于测量产物角分布的探测室是可转动的.其主要特色在于探测室围绕反应中心转动时,二台差分抽气用的离子泵是固定不动的,探测室与离子泵机组之间采用可弯曲的不锈钢波纹管软连接,从而使其结构紧凑,造价低廉,此外,该装置还可用于交叉分子束实验,分子束光裂解以及分子束弛豫谱等研究.
- 秦启宗杨永炎章壮健李雨林卢平和金忠余敏刘先年蔡中厚郑企克
- 关键词：分子束反应动力学
- 平动能对激光诱导气-固表面蚀刻反应的增强效应被引量：1
- 1990年
- 本文采用超声分子束和时间分辨质谱技术研究了入射分子平动能对激光诱导气-固表面反应的增强效应.对于由可见激光(56nm)诱导的Cl_2与Ge(111)、Si(111)和GaAS(100)表面蚀刻反应,研究发现提高Cl_2分子的入射平功能将明显地增加反应产率,而且都存在一个入射平动能的反应阈值,其数值为5～7kJ·mol^(-1).此外,从反应产物的飞行时间谱测得入射分子平动能对产物平动温度的影响.这些结果可以通过平动能促进Cl_2分子在表面上解离化学吸附过程来解释。
- 李雨林秦启宗
- 关键词：激光
- 分子束研究GaAs和InP与氯的激光化学反应动态学被引量：2
- 1989年
- 本文采用CW超声分子束和时间分辨质谱技术,研究了在紫外和可见(355nm和560nm)脉冲激光辐照下GaAs(100)和InP(100)表面与氯的激光化学反应动态学。由质谱和飞行时间谱测得反应的主要产物为GaCl_x和InCl_x(x=1,2),研究了激光波长和能量密度对产物飞行时间谱的影响,首次发现提高入射Cl_2分子的平动能对上述激光诱导气-固相反应有明显的增强作用。
- 秦启宗李雨林金忠章壮健杨永炎蔡中厚刘先年戴自国郏伟杰郑企克
- 关键词：分子束GAASINP氯激光化学
- 分子束技术研究氯分子与半导体表面激光诱导化学蚀刻反应动力学
- 李雨林
- FD-1型多功能超声分子束装置的研制被引量：2
- 1991年
- 本文介绍了一种探测器可转动的新型多功能超声分子束设备,探测器的内外二室分别由两台离子泵进行抽气(高分辨率四极滤质器及离子-电子倍增器置于探测器的内室)。这内外二室各经不锈钢波纹管与离子泵相连接,因此,在离子泵位置固定的情况下,探测器可围绕碰撞中心转动120度。高压气体经喷口绝热膨胀及三级差分抽气而形成分子束,在喷管中氩气压强为600Torr时,分子束设备碰撞中心处的束流强度可达1.4×10^(17)个分子/厘米~2·秒,用可转动的探测器测得分子束发散角的半宽度约为2度。文中也给出了分子束由固体表面散射后的角分布曲线。最后,介绍了在激光诱导气固相反应中,反应速率将随入射氯分子平动能的增大而明显增加。
- 章壮健杨永炎李雨林卢平和金忠余敏刘先年郑企克秦启宗
- 关键词：分子束离子泵束流强度固相反应表面散射
