梁勖
- 作品数：22 被引量：109H指数：8
- 供职机构：中国科学院安徽光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项中国科学院安徽光学精密机械研究所所长基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 放电准分子激光电磁干扰环境下控制系统设计被引量：6
- 2017年
- 为了在放电激励准分子激光的电磁干扰环境下,实现有效的抗干扰控制系统设计,采用全光纤接口设计和基于电压频率转换实现的高精度模拟信号传输的方法,取得了放电准分子激光空间电磁干扰强度和压频转换波形等数据,进行了理论分析和实验验证。结果表明,在最强电场干扰14V/m、最强磁场干扰38A/m的条件下,系统能够实现误差小于2.5%的模拟信号稳定传输,工作稳定可靠。这一结果对分析和设计能够稳定工作并抗干扰的准分子激光器控制系统是有帮助的。
- 马英岚梁勖赵读亮方晓东
- 关键词：激光技术光纤通讯
- 高效率放电抽运KrF准分子激光器被引量：6
- 2011年
- 248 nm放电抽运KrF准分子激光器在微电子学和医学等领域有重要的应用价值。在大多数应用中,激光器的最大输出效率和能量都是十分重要的参数。为了提高激光器输出效率和能量,实现KrF准分子激光器的稳定放电,采用新型开关电源和结构紧凑的张氏电极,并通过优化储能/放电电容比例和工作气体配比等方法,研制出了一台小型高效率放电抽运KrF准分子激光器。研究了开关电源对充放电特性的影响,以及气体配比对激光输出效率和能量的影响。该激光器的各项参数相比以往的产品有了较大改善,可重复频率为1~80 Hz,输出效率最高达2.5%,最大单脉冲输出能量380 mJ;当工作电压高于25 kV时,激光输出能量不稳定度约为1.8%。
- 王效顺余吟山王庆胜梁勖游利兵方晓东
- 关键词：激光器准分子激光器开关电源
- 近期光刻用ArF准分子激光技术发展被引量：9
- 2010年
- 193 nm ArF准分子激光光刻技术已广泛应用于90 nm以下节点半导体量产。分析了近期发展用于改进准分子激光性能的关键技术:主振-功率再生放大(MOPRA)结构,主振-功率振荡(MOPO)结构,主动光谱带宽稳定技术,先进的气体管理技术。对光刻用准分子激光光源技术发展趋势进行了简要的讨论。
- 游利兵周翊梁勖余吟山方晓东王宇
- 关键词：激光技术光刻
- 高重复率小型准分子激光开关电源设计被引量：6
- 2009年
- 设计了一种用于高重复率准分子激光器的正弦恒流型高压开关电源,逆变主电路采用串联谐振回路,输出电压10kV至15kV,重复率1Hz至300Hz。分析了逆变回路工作情况,介绍了变压器的参数计算方法和所采取的抗电磁干扰措施。电源体积小巧,运行稳定。经改进可使重复率提高到600Hz。
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- 关键词：准分子激光开关电源串联谐振高重复率
- 电激励准分子激光系统的电磁辐射和抑制被引量：3
- 2017年
- 为了抑制电激励准分子激光系统产生的强电磁干扰,采用电磁辐射理论分析了准分子激光器电磁辐射机理,确定了激光器辐射干扰源主要来源于激光器的主放电回路、出光口和氢闸流管;采用近场探头分别对各关键部位不同距离电磁辐射进行了测试;结合测试结果与电磁屏蔽原理对激光器电磁辐射进行了屏蔽设计和屏蔽效能测试,针对准分子激光系统,提出了抑制电磁干扰的几种措施。结果表明,设计的屏蔽盒的屏蔽效能达到40d B;引入电磁干扰抑制措施后,准分子激光系统能稳定可靠工作。该研究满足了工程实际要求。
- 赵读亮梁勖方晓东
- 关键词：激光器电磁辐射屏蔽技术准分子激光
- 准分子激光全固态脉冲电源设计与实验研究被引量：14
- 2009年
- 针对脉冲能量5～8mJ的ArF准分子激光器，设计了基于可控硅开关结合三级磁脉冲压缩开关的全固态脉冲电源，采用园产可控硅和磁开关材料，获得了上升时间约150EIS，电压10～14kV，传递能量0．35～0．68j的激励脉冲，并实现了对准分子激光器快放电激励。三级磁开关总效率35％，分析表明磁开关损耗较大主要原因为电容能量转移不充分、导线铜损及磁芯材料铁损较大，并提出了相应改进办法。
- 游利兵梁勖余吟山李会王庆胜王效顺
- 关键词：准分子激光磁开关可控硅磁脉冲压缩
- 高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究被引量：8
- 2012年
- 为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定,从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究。介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理,使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型,提出一种基于实时检测脉冲能量的电压调节比例积分算法,并结合函数模型和控制算法进行了MATLAB仿真。结果表明,建立的脉冲能量模型是合理的,且提出的比例积分算法在提高激光器脉冲输出能量稳定性方面是有效的。
- 王效顺梁勖游利兵赵家敏方晓东
- 关键词：激光器能量稳定高重复频率
- MOPA结构准分子激光系统的同步控制被引量：7
- 2015年
- 为了使主振荡功率放大结构的Ar F准分子激光器实现双腔同步放电,采用同步逻辑快速响应双腔放电时序,根据同步控制逻辑自动对双腔延时进行精密调节,使用四位二进制计数器实现粗调搜索,快速缩小双腔延时差,而使用通用数字可编程延时芯片来实现小精度延时调节。结果表明,双腔放电同步调节之后,放电时差稳定在23ns左右,同步抖动小于±3ns,满足4k Hz高重复频率下主振荡功率放大结构准分子激光器同步控制的要求。
- 钱小东李皙茹梁勖鲍健张铄
- 关键词：激光器同步控制
- 固体开关小能量准分子激光器的设计与实验研究被引量：6
- 2010年
- 准分子器件重复频率高于千赫兹时,闸流管作为传统的放电开关由于寿命瓶颈而不能满足长期稳定工作的要求。采用固体开关结合磁脉冲压缩技术的固态脉冲功率模块(SSPPM)来替代闸流管进行高压快速放电,激光器可在高重复频率下长寿命运行。设计了无闸流管的固体开关小能量准分子激光器,其核心技术是基于SSPPM的应用,并采用金属-陶瓷结构腔体和电晕预电离以延长气体工作寿命。电极放电电压10～14 kV,电压上升时间约150 ns,抽运功率密度3.9～7.6 MW/cm^3。ArF运转时,获得最大单脉冲能量11 mJ激光输出,最高重复频率300 Hz。其输出指标可满足当前准分子眼科设备、光谱学研究等需要。
- 游利兵梁勖余吟山
- 关键词：激光器准分子
- 实时调节工作电压实现稳定准分子脉冲能量被引量：11
- 2010年
- 介绍了一种准分子激光脉冲能量稳定系统。它由能量检测、开关电源和控制器组成。其组成部分均良好屏蔽,组件之间由光纤传递信息,通过均值算法进行脉冲-脉冲的放电电压调节,在闸流管放电的强电磁干扰条件下实现了可靠的闭环控制。该系统实验于一重复频率5 Hz,采用火花预电离的KrF激光器。在气体状态好的情况下,将脉冲能量波动相对标准差由4.71%降低至3.01%;在气体状态较差、放电电压较低的情况下,将脉冲能量波动相对标准差由7.18%降低至3.62%,有效地提高了脉冲能量的稳定性。
- 梁勖游利兵王涛余吟山
- 关键词：准分子能量稳定闭环控制实时检测
