王秀东
- 作品数：3 被引量：9H指数：1
- 供职机构：中国科学院声学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术化学工程更多>>
- Love波传感器结构的有限元分析方法被引量：9
- 2012年
- 提出一种ANSYS分析Love波传感器性能的有限元方法。根据Love波传感器的特点,施加一维近似假设和周期性边界条件建立了由压电基片,金属电极和波导层组成Love波传感器的三维有限元分析模型,并在此模型分析结果基础上提取结构的特征频率。一方面运用开路和短路条件下的特征频率来计算机电耦合系数,另一方面结合微扰理论的计算得到器件的质量灵敏度。最后通过这两个参数来选取波导层厚度,使器件达到最优的性能。在不同的波导层厚度情况下,计算了SiO_2/ST-90°X石英和SiO_2/36°Y-X LiTaO_3两种结构Love波传感器结构的仿真结果,得到了这两种结构的波导层最优的厚度分别为0.11λ和0.2λ。与已报道的文献和实验的结果对比,本文所采用的方法明显优于传统的均匀层状结构理论分析的结果,通过仿真不同结构和材料参数的器件性能,有效地指导Love波传感器的设计。
- 付琛李红浪王秀东梁勇何世堂
- 关键词：传感器结构LOVE波有限元分析方法ANSYS分析周期性边界条件机电耦合系数
- 快速吸附与脱附的声表面波H_2S传感器
- 2011年
- 本文主要研究了基于SnO_2/CuO薄膜的声表面波(SAW)传感器(室温下,工作频率约为147.8 MHz)检测H_2S气体的特性。以36°YXLiTaO_3为基片制作声表面波器件,通过采用射频磁控溅射法在其表面淀积SnO_2/CuO的复合薄膜制作出H_2S气体传感器。由场发射电子扫描电镜观察薄膜,薄膜连续均匀且表面分布大量微气孔,因而具有良好的吸附性。然后本文在85℃～205℃范围内对传感器的吸附和脱附速率、灵敏度及选择性等进行了实验研究。实验结果表明,所制备的传感器在较低温度下同时具备快速吸附和脱附特性,工作在190℃时气体吸附和脱附速率最快,检测20ppm H_2S的响应和恢复时间分别为30s、15s;工作在160℃时,传感器检测20ppmH_2S的灵敏度最高,工作频率变化约230 kHz,且对于低浓度2 ppm H_2S,频率变化可达45 kHz。同时,传感器也表现出良好的重复性和选择性。
- 王秀东李红浪付琛梁勇何世堂
- 关键词：声表面波H2S气体传感器
- 覆盖SnO2薄膜H2S声表面波气传感器的研究
- 本文研究了一种采用SnO敏感薄膜的声表面波（SAW）HS气体传感器。目前常用的基于电阻效应的传统半导体（如SnO）传感器,工作温度较高（通常大于150℃）,灵敏度也较低（>10ppm）,易老化。与传统基于电阻效应的半导体...
- 李红浪王秀东何世堂傅邱云罗为周东祥
- 关键词：SNO2表面波常温
- 文献传递
