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解灵运

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇晶体
  • 2篇光子
  • 2篇光子带隙
  • 2篇光子晶体
  • 2篇SOI
  • 2篇波导
  • 1篇电子束曝光
  • 1篇时域有限
  • 1篇时域有限差分
  • 1篇时域有限差分...
  • 1篇平板波导
  • 1篇平面波展开法
  • 1篇光子晶体波导
  • 1篇二维光子
  • 1篇二维光子晶体

机构

  • 2篇清华大学

作者

  • 2篇解灵运
  • 1篇张冶金
  • 1篇陈向飞
  • 1篇彭小舟
  • 1篇谢世钟

传媒

  • 1篇半导体光电

年份

  • 1篇2004
  • 1篇2003
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
基于SOI的光子晶体波导的研究被引量：2
2003年
　给出了基于SOI晶片、带隙中心位于1550nm的光子带隙材料及光子晶体波导器件的设计方法。采用基于超原胞的平面波展开法和基于完美匹配层边界条件的三维时域有限差分法,对二维光子晶体平板的带隙结构及光波传输进行仿真。在大量计算和优化的基础上,设计了适于248nm深紫外曝光和0.18μm离子束刻蚀工艺的光子晶体带隙材料及波导器件,得到了初步的工艺实验结果和样品SEM测试结果。
解灵运张冶金彭小舟陈向飞谢世钟
关键词：光子晶体光子带隙SOI平面波展开法时域有限差分法
基于SOI的二维光子晶体平板波导的研究
光子晶体是一种介电常数成周期分布的介质材料,周期为光波长量级。在光子晶体材料中存在着特殊的频带,在这些频带中光波被禁止传播。如果在光子晶体中引入缺陷,则在禁带中会存在缺陷态,使得与该缺陷态相对应的波长的光子在其中可以存在...
解灵运
关键词：光子晶体光子带隙SOI电子束曝光
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