陆晓欣
- 作品数：7 被引量：9H指数：1
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金黑龙江省自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信电气工程更多>>
- 固贴式薄膜体声波谐振器及其全绝缘布拉格反射栅制备方法
- 固贴式薄膜体声波谐振器及其全绝缘布拉格反射栅制备方法，涉及一种固贴式薄膜体声波谐振器及其反射栅制备方法。解决了现有固贴式薄膜体声波谐振器应用中存在寄生电容，进而导致器件电声性能的大幅下降与不稳定的问题，所述谐振器为上下电...
- 朱嘉琦刘罡王赛陆晓欣刘远鹏
- 碳纤维增强树脂基复合材料表面阻抗调制与结构吸波性能研究
- 在航空航天领域中，碳纤维增强树脂基复合材料由于其轻质高强等优良特性占据了非常重要的地位，为了适应现代战争对隐身的需要，对碳纤维增强树脂基复合材料机身的吸波性能提出了很高的要求。其中，碳纤维增强树脂基结构型吸波材料由于可以...
- 陆晓欣
- 关键词：碳纤维增强树脂基复合材料
- 文献传递
- 固贴式薄膜体声波谐振器及其全绝缘布拉格反射栅制备方法
- 固贴式薄膜体声波谐振器及其全绝缘布拉格反射栅制备方法，涉及一种固贴式薄膜体声波谐振器及其反射栅制备方法。解决了现有固贴式薄膜体声波谐振器应用中存在寄生电容，进而导致器件电声性能的大幅下降与不稳定的问题，所述谐振器为上下电...
- 朱嘉琦刘罡王赛陆晓欣刘远鹏
- 文献传递
- 固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系研究进展被引量：8
- 2010年
- 固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)技术是近年来电子工业领域里的突破性技术,具有2GHz以上的工作频率、极高的的品质因子及良好的机械稳定性等众多的优异特性.基于其独特的优越性,固贴式薄膜体声波谐振器成为了科研工作者们关心的热点,并在第三代无线通信系统中已得到广泛应用,例如作为基本单元用来制作滤波器、双工器和振荡器等第三代无线通信系统中的频率选择器件.器件选用的材料体系是决定器件性能的关键因素.本文以器件结构为线索,综述了固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系的研究进展,包括压电薄膜(氮化铝、氧化锌等)、高/低声阻抗材料以及电极薄膜,讨论了材料性能和器件性能的关系,并对材料体系下一步的研究方向进行了展望。
- 刘罡朱嘉琦王赛陆晓欣刘远鹏霍施宇袁欣薇
- 关键词：压电薄膜
- 以四面体非晶碳为布拉格反射栅高声阻抗材料的固贴式薄膜体声波谐振器性能仿真分析被引量：1
- 2012年
- 为了提高固贴式薄膜体声波谐振器(SMR)的电学和声学品质,实现四面体非晶碳(ta-C)在体声波器件领域的新应用,建立了以ta-C为布拉格反射栅高声阻抗材料的SMR模型,利用MathCAD仿真研究布拉格反射栅层数对该SMR的谐振特性的影响以及ta-C中sp3杂化含量和高/低声阻抗层厚度偏差对SMR的品质因子(Q值)的影响。结果表明层数的增加提高了SMR的品质;ta-C薄膜sp3杂化含量越高,达到饱和Q值所需层数越少,当含量为80%时,至少需要6层(3对)布拉格反射层使SMR达到优异Q值;距离压电堆越近的高/低声阻抗层,其厚度偏差对Q值的影响越大,从而实现了高频率(8GHz)低损耗的SMR的设计。
- 陆晓欣朱嘉琦王赛刘罡刘远鹏袁欣薇霍施宇
- 关键词：四面体非晶碳品质因子
- 压电堆材料对固贴式薄膜体声波谐振器性能的影响研究
- 本文在FBAR器件数学模型的基础上利用MathCAD仿真分析了压电薄膜材料和厚度,电极材料和厚度以及谐振面积对FBAR器件谐振特性的影响,同时确定了布拉格反射栅的材料及工作模式。得到如下主要结论:复合FBAR由于考虑了电...
- 鄂羽佳陆晓欣朱嘉琦
- 关键词：品质因子
- 文献传递
- 固贴式薄膜体声波谐振器性能受压电材料的影响分析
- 2019年
- 利用MathCAD软件对固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)器件建立数学模型进行仿真,分析了不同压电薄膜材料和厚度,不同电极材料和厚度对FBAR器件谐振特性的影响。采用射频磁控溅射方法制备氮化铝(AlN)薄膜,利用扫描探针显微镜中的压电力显微镜(PFM)模块对AlN薄膜的压电性能进行了测试。得到主要结论为:复合FBAR的谐振频率因为增加了电极厚度因素相比理想FBAR的谐振频率偏低;压电材料的机电耦合系数对器件带宽起决定性作用,器件的机电耦合系数正比于材料的机电耦合系数;AlN具有较高的压电系数,可以有效提升器件性能,增大带宽,适合作为压电薄膜材料;采用小尺寸压电薄膜和电极厚度有益于提高器件的频率。
- 鄂羽佳陆晓欣王建东朱嘉琦
- 关键词：压电薄膜磁控溅射压电系数
