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周宗义

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

主题

  • 2篇电池
  • 2篇电感线圈
  • 2篇电极
  • 2篇淀积
  • 2篇真空室
  • 2篇上段
  • 2篇太阳电池
  • 2篇太阳能
  • 2篇太阳能电池
  • 2篇匹配器
  • 2篇偏压
  • 2篇平板
  • 2篇平板式
  • 2篇微电子
  • 2篇微电子技术
  • 2篇谐振频率
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇金属
  • 2篇金属电极
  • 2篇刻蚀

机构

  • 6篇中国科学院微...

作者

  • 6篇周宗义
  • 6篇王佳
  • 6篇李兵
  • 6篇刘训春
  • 4篇张永利
  • 4篇张育胜
  • 2篇王建海
  • 2篇黄清华

年份

  • 3篇2010
  • 3篇2009
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
平板式等离子体增强化学汽相淀积设备的反应室结构
本发明一种平板式等离子体增强化学汽相淀积(PECVD)设备的反应室结构，涉及微电子技术，是由内真空室与外腔室嵌套组成；内真空室上段的顶壁由具有伸缩功能的波纹管与外腔室连接；内真空室上段的顶壁外侧通过螺杆与外腔室顶面的堵转...
刘训春周宗义李兵张育胜王佳张永利
文献传递
一种太阳能电池刻边机反应室结构
本发明一种太阳能电池刻边机反应室结构，它的腔壁与太阳电池片形状相似，呈方形，四角处可呈切角状或弧形，并作为产生辉光放电的射频供电的一个电极接地，腔室中间有一个金属电极接射频输出，该金属射频电极上放置有一结构特殊的载片架。...
刘训春周宗义李兵王佳张育胜张永利
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一种消除反应离子刻蚀自偏压的方法及系统
本发明公开了一种消除反应离子刻蚀自偏压的方法及系统，属于半导体加工制造领域。所述方法是：在反应离子刻蚀的反应室的两个电极间并联一个由电感线圈L和电容C组成的LC谐振回路，LC谐振回路的谐振频率与反应离子刻蚀的反应室的射频...
刘训春王佳周宗义李兵王建海黄清华
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一种消除反应离子刻蚀自偏压的方法及系统
本发明公开了一种消除反应离子刻蚀自偏压的方法及系统，属于半导体加工制造领域。所述方法是：在反应离子刻蚀的反应室的两个电极间并联一个由电感线圈L和电容C组成的LC谐振回路，LC谐振回路的谐振频率与反应离子刻蚀的反应室的射频...
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平板式等离子体增强化学汽相淀积设备的反应室结构
本发明一种平板式等离子体增强化学汽相淀积(PECVD)设备的反应室结构，涉及微电子技术，是由内真空室与外腔室嵌套组成；内真空室上段的顶壁由具有伸缩功能的波纹管与外腔室连接；内真空室上段的顶壁外侧通过螺杆与外腔室顶面的堵转...
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一种太阳能电池刻边机反应室结构
本发明一种太阳能电池刻边机反应室结构，它的腔壁与太阳电池片形状相似，呈方形，四角处可呈切角状或弧形，并作为产生辉光放电的射频供电的一个电极接地，腔室中间有一个金属电极接射频输出，该金属射频电极上放置有一结构特殊的载片架。...
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