2024年12月25日
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姚剑
作品数:
12
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供职机构:
浙江理工大学
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相关领域:
电气工程
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合作作者
席珍强
浙江理工大学
杜平凡
浙江理工大学
徐敏
浙江理工大学
姚晓辉
浙江理工大学
汪新颜
浙江理工大学
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1篇
电气工程
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氮化硅
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机构
12篇
浙江理工大学
作者
12篇
姚剑
11篇
徐敏
11篇
杜平凡
11篇
席珍强
2篇
姚奎鸿
2篇
王龙成
2篇
汪新颜
2篇
姚晓辉
年份
1篇
2012
3篇
2010
3篇
2009
5篇
2008
共
12
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一种往复式高温合成装置
本发明公开了一种往复式高温合成装置。在左右两根钢架上安装工作台,工作台上安装导轨,加热炉能在导轨上作左右往复移动,工作台的两端分别装有炉管的支撑架,两个结构相同的炉管内分别设置能拆装的反应管,两个炉管的外侧出口端均安装密...
杜平凡
席珍强
姚剑
徐敏
姚晓辉
姚奎鸿
文献传递
活塞环表面涂覆氮化硅膜层的方法
本发明公开了一种活塞环表面涂覆氮化硅膜层的方法。先对活塞环进行电解抛光和超声波清洗处理;再将清洗后的活塞环放入射频等离子体增强化学气相沉积设备中,系统抽真空至5×10<Sup>-3</Sup>Pa,以硅烷和氨气为反应气源...
杜平凡
席珍强
王龙成
徐敏
汪新颜
姚剑
文献传递
一种碳氮化硅薄膜的制备方法
本发明公开了一种碳氮化硅薄膜的制备方法。采用N<Sub>2</Sub>稀释的SiH<Sub>4</Sub>气体(SiH<Sub>4</Sub>浓度10%)作为Si源和N源,以高纯CH<Sub>4</Sub>为C源,按不同...
席珍强
徐敏
杜平凡
姚剑
文献传递
快速热处理制备硅太阳电池铝背电极
太阳能是人类解决能源和环境问题的重要途径。硅基太阳电池凭借原材料丰富、安全无毒、转化效率高等优点,仍将在今后很长一段时间占据光伏市场的主体地位。进行硅太阳电池铝背电极制备,除完成载流子收集,与外界负载形成回路外,能有效对...
姚剑
关键词:
硅太阳电池
文献传递
一种铝合金表面处理方法
本发明公开了一种铝合金表面处理方法。先对铝合金表面抛光,清洗再在普通铝合金基底上采用PECVD法沉积一层氮化硅薄膜,沉积过程采用的参数,温度为100~500℃,射频功率为20~150W,沉积时间为5~60min,SiH<...
杜平凡
徐敏
席珍强
姚剑
文献传递
一种氮化硅彩虹玻璃及其制备方法
本发明公开了一种氮化硅彩虹玻璃及其制备方法。在普通平板玻璃基底一个表面或二个表面上镀有一层氮化硅薄膜,形成相间的彩虹条纹。其生产方法是采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)镀氮化硅膜,镀出的氮化硅膜在玻璃表面形成彩色相...
席珍强
徐敏
杜平凡
姚剑
文献传递
一种铝合金表面处理方法
本发明公开了一种铝合金表面处理方法。先对铝合金表面抛光,清洗再在普通铝合金基底上采用PECVD法沉积一层氮化硅薄膜,沉积过程采用的参数,温度为100~500℃,射频功率为20~150W,沉积时间为5~60min,SiH<...
杜平凡
徐敏
席珍强
姚剑
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一种氮化硅彩虹玻璃及其制备方法
本发明公开了一种氮化硅彩虹玻璃及其制备方法。在普通平板玻璃基底一个表面或二个表面上镀有一层氮化硅薄膜,形成相间的彩虹条纹。其生产方法是采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)镀氮化硅膜,镀出的氮化硅膜在玻璃表面形成彩色相...
席珍强
徐敏
杜平凡
姚剑
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一种碳氮化硅薄膜的制备方法
本发明公开了一种碳氮化硅薄膜的制备方法。采用N<Sub>2</Sub>稀释的SiH<Sub>4</Sub>气体(SiH<Sub>4</Sub>浓度10%)作为Si源和N源,以高纯CH<Sub>4</Sub>为C源,按不同...
席珍强
徐敏
杜平凡
姚剑
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提高太阳电池用非晶氢化碳氮化硅薄膜钝化性能的热处理方法
本发明公布了一种提高太阳电池用非晶氢化碳氮化硅薄膜钝化性能的热处理方法,步骤如下:将采用PECVD双面沉积非晶氢化碳氮化硅薄膜的硅片放在氮气气氛下于550~850℃快速热处理10~80秒,或在空气气氛下于550~850℃...
席珍强
杜平凡
徐敏
姚剑
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