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方瑞芳

作品数：12 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关领域：机械工程环境科学与工程理学交通运输工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇环境科学与工...
  • 1篇理学

主题

  • 6篇光刻
  • 5篇偏振
  • 4篇透镜
  • 4篇透镜阵列
  • 4篇狭缝
  • 4篇光束
  • 3篇移相
  • 3篇圆偏振
  • 3篇数据处理
  • 3篇图像
  • 3篇图像数据
  • 3篇图像数据处理
  • 3篇球面干涉仪
  • 3篇光栅
  • 3篇干涉仪
  • 3篇参考光
  • 3篇达曼光栅
  • 2篇掩模
  • 2篇掩模板
  • 2篇掩膜

机构

  • 12篇中国科学院上...

作者

  • 12篇方瑞芳
  • 12篇曾爱军
  • 12篇黄惠杰
  • 5篇刘龙海
  • 4篇朱玲琳
  • 3篇陈贝特
  • 3篇熊超
  • 3篇徐傲
  • 3篇袁乔
  • 2篇陈立群
  • 1篇陈明星
  • 1篇程伟林

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 4篇2014
  • 2篇2013
  • 3篇2012
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
折反射式光刻照明中继镜组
一种用于光刻照明系统的折反射式光刻照明中继镜组，由折射透镜组、球面反射镜阵列、孔径光阑和平面反射镜组成，本发明具有结构简单，透过率高，成像质量高的特点，容易实现光刻照明系统和投影曝光系统的远心度匹配，可为掩模板提供均匀照...
黄惠杰方瑞芳曾爱军
文献传递
步进扫描投影光刻机的照明系统
一种步进扫描投影光刻机的照明系统，沿光束传播方向，其构成包括光源、光瞳整形单元、视场定义单元、第一透镜阵列、第一狭缝阵列、第二透镜阵列、第三透镜阵列、第二狭缝阵列、第四透镜阵列、聚光镜和扫描驱动单元。本发明降低了透镜加工...
曾爱军陈立群方瑞芳黄惠杰
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八分之一波片相位延迟量测量装置和测量方法
一种八分之一波片相位延迟量的测量装置和测量方法，装置包括准直光源，特点在于其构成是：沿所述的准直光源发出的光束前进方向上，依次是偏振分光镜、四分之一波片、八分之一波片的插口、反射镜，在所述的偏振分光镜的反射光束方向上放置...
方瑞芳曾爱军刘龙海朱玲琳袁乔黄惠杰
文献传递
步进扫描投影光刻机的照明系统
一种步进扫描投影光刻机的照明系统，沿光束传播方向，其构成包括光源、光瞳整形单元、视场定义单元、第一透镜阵列、第一狭缝阵列、第二透镜阵列、第三透镜阵列、第二狭缝阵列、第四透镜阵列、聚光镜和扫描驱动单元。本发明降低了透镜加工...
曾爱军陈立群方瑞芳黄惠杰
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消光式成像椭偏技术研究
随着微电子技术的快速发展,薄膜应用领域越来越广,确定薄膜参数对于薄膜特性研究具有很大意义,而椭偏技术是测量薄膜参数最有效的方法之一,具有非破坏性、非接触性以及高测量精度等诸多优点.成像椭偏技术的研究在国内并不成熟,在大视...
胡仕玉曾爱军陈明星程伟林袁乔谷利元方瑞芳黄惠杰
空间移相菲索球面干涉仪
一种空间移相菲索球面干涉仪，特点是在标准镜的入射面上镀有双折射薄膜，而且该标准镜的入射面为平面，出射面为球面，在第一分束器的反射光路上，设有第二分束器、第二准直透镜、达曼光栅、检偏器阵列、第二图像传感器和计算机，在所述的...
刘龙海方瑞芳陈贝特熊超徐傲曾爱军黄惠杰
文献传递
空间移相菲索球面干涉仪
一种空间移相菲索球面干涉仪，特点是在标准镜的入射面上镀有双折射薄膜，而且该标准镜的入射面为平面，出射面为球面，在第一分束器的反射光路上，设有第二分束器、第二准直透镜、达曼光栅、检偏器阵列、第二图像传感器和计算机，在所述的...
刘龙海方瑞芳陈贝特熊超徐傲曾爱军黄惠杰
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光刻照明系统
一种光刻照明系统，包括激光光源，沿激光光源的激光前进方向依次是准直扩束单元、光瞳整形单元、第一微透镜阵列、微积分棒阵列、微扫描狭缝阵列、第二微透镜阵列、聚光镜组和掩膜，运动控制单元控制所述的微扫描狭缝阵列的运动，本发明光...
曾爱军朱玲琳方瑞芳黄惠杰
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空间移相菲索球面干涉仪
一种空间移相菲索球面干涉仪，特点是在标准镜的入射面上镀有双折射薄膜，而且该标准镜的入射面为平面，出射面为球面，在第一分束器的反射光路上，设有第二分束器、第二准直透镜、达曼光栅、检偏器阵列、第二图像传感器和计算机，在所述的...
刘龙海方瑞芳陈贝特熊超徐傲曾爱军黄惠杰
折反射式光刻照明中继镜组
一种用于光刻照明系统的折反射式光刻照明中继镜组，由折射透镜组、球面反射镜阵列、孔径光阑和平面反射镜组成，本发明具有结构简单，透过率高，成像质量高的特点，容易实现光刻照明系统和投影曝光系统的远心度匹配，可为掩模板提供均匀照...
黄惠杰方瑞芳曾爱军
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