2024年12月25日
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易真翔
作品数:
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东南大学
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相关领域:
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秦明
东南大学
黄庆安
东南大学
廖小平
东南大学
王立峰
东南大学
叶一舟
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基于悬臂梁和直接式功率传感器的在线式微波频率检测器及其检测方法
一种基于悬臂梁和直接式功率传感器的在线式微波频率检测器及其检测方法,检测器制备在GaAs衬底上,包括共面波导CPW传输线、四个完全相同的MEMS悬臂梁结构、功合器以及三个结构完全相同的MEMS直接式微波功率传感器。本发明...
廖小平
易真翔
杨国
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一种基于柔性电感结构的无源无线风速传感器
本发明公开了一种基于柔性电感结构的无源无线风速传感器,包括读数端和传感器端;传感器端包括第一平面螺旋电感和第二平面螺旋电感;第一平面螺旋电感为柔性平面螺旋电感,并固定在受风形变的柔性基底表面;第二平面螺旋电感所在的基底受...
易真翔
程星全
基于微机械砷化镓基的悬臂梁相位检测器及检测方法
本发明公开了一种基于微机械砷化镓基的悬臂梁相位检测器,该频率检测器包括砷化镓衬底(1),生长在砷化镓衬底(1)表面上的用于输出饱和电流的源极(2)和漏极(3),源极(2)与漏极(3)相对设置,设置在源极(2)和漏极(3)...
廖小平
易真翔
无线接收式微电子机械微波频率检测系统及其制备方法
无线接收式微电子机械微波频率检测系统及其制备方法是一种结构非常简单,测量幅度范围大、不消耗直流功率,且便于集成的微电子机械微波频率检测系统及其制备方法,该微电子机械微波频率检测系统以砷化镓为衬底,在衬底上设计有微波天线(...
廖小平
王德波
易真翔
文献传递
一种正面感风背面引线的膜式风速风向传感器及其制造方法
一种正面感风背面引线的膜式风速风向传感器,首先将刻有深腔的硅晶圆与玻璃晶圆键合,通过玻璃回流工艺填充深腔,然后在减薄抛光后的玻璃一面加工加热和测温元件并淀积钝化层进行保护。最后对背面的硅进行刻蚀,形成玻璃厚膜、隔热环以及...
王振军
秦明
易真翔
黄庆安
一种超小型高灵敏度二维风速计及其制作方法
本发明涉及一种超小型高灵敏度二维风速计,包括衬底(1)、绝缘介质层(2)、正四棱台(3)、加热元件(4)和四个测温热电偶堆(51),结合本发明技术方案,构建超小型高灵敏度二维风速计,并设计与之相应的超小型高灵敏度二维风速...
秦明
张瑶霖
易真翔
黄庆安
文献传递
一种交流自加热式风速风向传感器及其测量方法
本发明公开了一种交流自加热式风速风向传感器及其测量方法,该传感器包括砷化镓衬底,生长在砷化镓衬底表面上的用于产生热量的发热电阻和用于感知温差的半导体热电偶。将四个风速传感器进行正交排列,形成交流自加热式风速风向传感器。其...
易真翔
秦明
黄庆安
文献传递
二维温度平衡模式MEMS风速风向传感器及其制备方法
本发明公开了一种二维温度平衡模式MEMS风速风向传感器及其制备方法,传感器包括传感器芯片部分和测控电路,传感器芯片部分基于热电偶结构,测控电路系统采用温度平衡模式。芯片中的测温元件热电偶由两层热偶臂组成。基于分时复用的思...
易真翔
谢雨珏
秦明
黄庆安
文献传递
一种电容式三维风速风向传感器
本发明公开了一种电容式三维风速风向传感器,所述传感器包括第一微柱、第二微柱、衬底、第一空气层、第二空气层、第一层金属极板单元、第二层金属极板单元和第三层金属极板单元;所述第一微柱连接在衬底的顶面,第二微柱连接在衬底的底面...
易真翔
叶一舟
高适萱
秦明
黄庆安
一种用于传感器加热元件的双模控温电路及控制方法
本发明提供了一种用于传感器加热元件的双模控温电路及控制方法,属于传感器加热元件技术领域。其技术方案为:一种用于传感器加热元件的双模控温电路,包括工况传感电路、数字控制电路、模拟控制电路、模式切换电路和双模式电流控制加热电...
易真翔
崔舒欣
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