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曹青
作品数:
21
被引量:20
H指数:3
供职机构:
浙江大学
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韩冬
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杨华勇
浙江大学
龚国芳
浙江大学
卢方
浙江大学
刘毅
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1996
1篇
1994
共
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一种三维无线磁性机器人及控制方法
本发明公开了一种三维无线磁性机器人及控制方法。刚性头顶部固定有柔性握爪,刚性头外表面和内部分布有第一磁粉,外握爪和内握爪根部固定在柔性底座的端面上,外握爪和内握爪之间相互重叠,由两个外握爪和两个内握爪围成的空间内放置药物...
韩冬
曹青
卢方
刘毅
张亚坤
龚国芳
杨华勇
文献传递
组织型转谷氨酰胺酶在乙肝病毒阳性肝细胞癌中的促瘤作用及机制研究
全球约20亿人感染乙型肝炎病毒(HBV),其中罹患慢性乙型肝炎患者约2.4亿人,研究发现HBV感染是肝细胞癌(HCC)的主要危险因素,HBV携带者罹患HCC的相对危险度较正常人增加100倍以上。HCC的5年生存率约10%...
曹青
关键词:
病理机制
转谷氨酰胺酶
一种压力无级可调的大流量压电泵
本发明公开了一种压力无级可调的大流量压电泵,压电泵包括上端盖、下端盖、射流腔压电组件、半主动单向阀和位于上端盖上的出口管;所述射流腔压电组件由上至下包括顺次相连的带孔压电振子、泵腔垫圈和双作用压电振子,所述带孔压电振子和...
韩冬
卢方
曹青
朱展芸
刘毅
龚国芳
杨华勇
文献传递
UHVCVD系统电阻丝加热3"硅片热平衡状态分析
1996年
本文根据传热学基本原理,研究了超高真空化学气相外延(UHVCVD)系统中,电阻丝辐射加热装置在热平衡状态下硅片与各种部件之间的传热规律;建立了相应的热平衡热学模型,得到了硅片温度、电阻丝温度和加热总功率之间的关系.为在UHVCVD系统中控制硅片温度提供了理论依据.
陈伟华
叶志镇
曹青
张侃
关键词:
辐射传热
热平衡
硅
UHV/CVD低温生长硅外延层的性能研究
被引量:6
1998年
本文利用自行研制的一台超高真空化学气相沉积(UHV/CVD)系统,在780℃下进行了硅低温外延,取得了表面平整、缺陷密度低、界面质量良好。
叶志镇
曹青
张侃
陈伟华
汪雷
李先杭
赵炳辉
李剑光
卢焕明
关键词:
UHV/CVD
ULSI
硅
植入式遥操作磁控智能传感人工膀胱装置
植入式遥操作磁控智能传感人工膀胱装置,柔性假体连接入口单向阀、出口单向阀、入口单向阀,出口单向阀与人体尿道吻合,具有预设的开启压力阈值;内部多极磁石、水平压板、柔性假体自上而下同轴地串接在丝杆上,丝杆的上下端分别通过轴承...
陈艺成
曹青
韩冬
郭文豪
一种微型扁平式马达
本发明公开了一种微型扁平式马达,属于微型马达领域。马达包括基板、平面环形线圈、导轨和转子部件;所述的平面环形线圈嵌入基板上的圆形凹槽内,平面环形线圈的正负极连接外部电源;所述的转子部件通过导轨限位在基板上且位于平面环形线...
韩冬
曹青
王博怀
朱展芸
卢方
龚国芳
杨华勇
一种激光辅助加热的多极磁化方法
本发明公开了一种激光辅助加热的多极磁化方法,属于磁技术领域。包括1)在经过脉冲磁化的单向钕铁硼磁石一侧或两侧布置外部磁石,所述外部磁石产生的外部磁场方向与单向钕铁硼磁石中待磁化的方向相同;2)利用激光对单向钕铁硼磁石的目...
韩冬
曹青
潘越
韩鹏飞
刘毅
龚国芳
杨华勇
反射高能电子衍射的原理及其应用
被引量:7
1994年
本文介绍了反射高能电子衍射的工作原理,并将其与低能电子衍射进行了比较,表明RHEED具有很多优越性。另外,综述了国内外有关利用RHEED进行表面科学及新材料研究方面的应用。
曹青
叶志镇
具有RHEED在线监控功能的超高真空CVD系统及3"硅片低温外延研究
被引量:6
1996年
本文报道了自己研制的一台超高真空化学汽相淀积(UHV/CVD)系统,本底真空达10-7Pa.该系统配有反射高能电子衍射仪,可对衬底表面清洁状况、外延层厚度等进行在线监控.利用该设备进行了硅低温外延实验,生长温度为780℃,得到了表面平整、缺陷密度低、界面杂质分布陡峭的薄外延层.
叶志镇
曹青
张侃
赵炳辉
李剑光
阙端麟
谢琪
雷震霖
关键词:
硅片
CVD
RHEED
在线监控
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