汤采凡
- 作品数:4 被引量:6H指数:1
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- 掺N的ZnO薄膜制备和性能研究
- 利用化学气相沉积法(CVD),以Zn4(OH)2(O2CCH3)6·2H20为源,NH<,3>为掺杂气体制备出掺N的ZnO薄膜,并采用XRD、SEM、XPS、EDS和PL谱对薄膜的结构、形貌、成分和光学特性进行分析。结果...
- 毛飞燕邓宏戴丽萍汤采凡
- 关键词:化学气相沉积掺杂光学特性
- 文献传递
- 基于SSCVD方法的a-b轴取向ZnO薄膜制备被引量:5
- 2006年
- 以Zn4(OH)2(O2CCH3)6·2H2O为单一固相有机源,采用单源化学气相沉积法(Singlesourcechemicalvapordeposition,SSCVD)在Si(100)衬底上制备ZnO薄膜,用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)分析ZnO薄膜样品的晶体结构和微观形貌,并用X射线光电子能谱(XPS)对薄膜的锌氧化学计量比进行了分析。研究结果表明:在非平衡条件下所得到的ZnO薄膜沿a-b轴取向生长,基片温度对ZnO薄膜生长过程影响较大,随着基片温度的升高,薄膜呈现c轴生长趋势;晶粒成柱状、尺寸均匀、膜层结构致密;薄膜样品中nZn∶nO=0.985。
- 陈根汤采凡戴丽萍邓宏
- 关键词:ZNO薄膜
- ZnO纳米线的非线性光学性质研究
- 本文论述了以金做催化剂,采用热分解Zno粉末方法在Si(100)衬底上生长了紧密整齐排列的ZnO纳米线。
- 邓宏汤采凡唐斌程和王锦春
- 关键词:纳米线非线性光学掺杂纳米材料
- 文献传递
- 化学气相沉积法制备ZnO薄膜及性能研究
- 本文以ZnO薄膜的实际应用为侧重点,从降低设备成本出发,利用在高温管式炉中进行的化学气相沉积(CVD)法和本实验室自行设计合成的固态源(ZnxOyCzHi)在玻璃和Si衬底上制备出了a~b取向的ZnO薄膜,主要对ZnO薄...
- 汤采凡
- 关键词:化学气相沉积法ZNO薄膜光学性质