王芳
- 作品数：17 被引量：6H指数：2
- 供职机构：中国计量科学研究院更多>>
- 发文基金：中国计量科学研究院基本科研业务费项目更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 一种双激光干涉纳米级定位测量系统
- 本发明公开了一种双激光干涉纳米级定位测量系统，包括：光源、第一分束棱镜、第一直角棱镜、第二直角棱镜、第二分束棱镜、标量干涉光采集模块、矢量干涉光采集模块和位移计算模块。本发明中的光电探测器采集待测物体位置移动过程中的反射...
- 张树施玉书王芳皮磊卜祥鹏
- 打造计量文化建设的绿洲
- 2012年
- 恩格斯说过:文化上的每一个进步,都是迈向自由的一步。其实文化就是一面精神旗帜,一个民族,只有文化体现出比物质和资本更强大的力量,才能造就更大的文明进步;一个国家,只有经济发展体现出文化的品格,才能进入更高的发展阶段。同样计量事业大发展也要依赖计量文化的发展与繁荣,通过文化创新、理论创新、制度创新和科技创新,逐步打造出一片促进计量事业发展的文化绿洲。一、计量文化建设的三个层面所谓计量文化,我想可以诠释为计量范畴领域这个群体在一定时期内形成的思想、理念、行为、习惯,以及由这个群体意识辐射出来的一切活动等。
- 王芳
- 关键词：文化建设制度文化文化创新绿洲文化理念
- 一种光学多倍程纳米级位移测量系统
- 本发明公开了一种光学多倍程纳米级位移测量系统，该系统包括：包括：光源、偏振分束棱镜、第一相位改变模块、第二相位改变模块、第一直角棱镜、第二直角棱镜和位移测量模块；在设置光源、偏振分束棱镜、第一相位改变模块、第二相位改变模...
- 施玉书张树王芳皮磊卜祥鹏
- 文献传递
- 基于硅晶格常数的纳米线宽计量技术被引量：6
- 2022年
- 随着集成电路中关键尺寸的不断减小,测量精度要求达到原子级才能保证器件的有效性,这给纳米线宽的精确测量带来了新的挑战。2018年第26届国际计量大会提出使用硅{220}晶面间距作为米定义的复现方式,这为原子尺度纳米线宽计量技术提供了新的思路与方法。目前,我国已掌握基于硅晶格常数的纳米线宽计量技术的原理,研制了系列小量值纳米线宽标准器,建立了纳米线宽的智能化定值方法,为初步建立我国自己的原子尺度纳米线宽计量溯源体系奠定了基础。此外,介绍了我国纳米线宽计量技术下一阶段的研究目标,并对我国纳米线宽计量技术未来在国际的影响力,以及在我国自主知识产权大规模集成电路发展中的支撑作用作出了展望。
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- 关键词：透射电子显微镜溯源性
- 用离子色谱测量煤中磷元素含量的方法
- 本发明涉及一种用离子色谱仪测量煤中磷元素含量的方法。采用微波氧燃烧使煤样燃烧生成灰渣，加入氢氟酸后采用微波消解将灰渣进一步消解成溶液，经赶酸后形成待测溶液。离子色谱经过校准后，测量煤中磷元素含量标准物质的消解溶液，根据磷...
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- 文献传递
- 基于扫描电子显微镜的纳米线宽自适应测量方法及系统
- 本发明涉及一种基于扫描电子显微镜的纳米线宽自适应测量方法及系统。所述方法包括：利用扫描电子显微镜获取纳米线宽图像并提取其强度曲线；根据均值将强度曲线分解为多个子曲线；提取每个子曲线的特征向量，获得特征向量集合；采用k‑m...
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- 一种激光干涉位移测量系统及方法
- 本发明公开了一种激光干涉位移测量系统和方法，利用光纤跳线的出射端面和被测物表面构成开放式法布里珀罗腔，将激光光束在光纤跳线的出射端面与空气端面发生后向菲涅尔反射的部分作为参考光，将透射至被测物表面并反射耦合进光纤跳线的部...
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- 文献传递
- 基于硅晶面间距的纳米线宽测量方法及系统
- 本发明涉及一种基于硅晶面间距的纳米线宽测量方法和系统。所述基于硅晶面间距的纳米线宽测量方法，基于获取的硅晶面间距图像得到硅晶面间距像素跨度，基于获取的线宽结构图像得到半高宽像素跨度，然后，基于硅晶面间距像素跨度和半高宽像...
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- 一种光学多倍程纳米级位移测量系统
- 本发明公开了一种光学多倍程纳米级位移测量系统，该系统包括：包括：光源、偏振分束棱镜、第一相位改变模块、第二相位改变模块、第一直角棱镜、第二直角棱镜和位移测量模块；在设置光源、偏振分束棱镜、第一相位改变模块、第二相位改变模...
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- 一种双激光干涉纳米级定位测量系统
- 本发明公开了一种双激光干涉纳米级定位测量系统，包括：光源、第一分束棱镜、第一直角棱镜、第二直角棱镜、第二分束棱镜、标量干涉光采集模块、矢量干涉光采集模块和位移计算模块。本发明中的光电探测器采集待测物体位置移动过程中的反射...
- 张树施玉书王芳皮磊卜祥鹏
- 文献传递
