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万宇: 作品数：19 被引量：24H指数：3; 供职机构：北京长城计量测试技术研究所更多>>; 发文基金：国家科技支撑计划中国航空科学基金更多>>; 相关领域：机械工程一般工业技术自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

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确定纳米压入面积函数的改进方法: 2021年; 针对薄膜等微小结构材料力学性能测试面积函数测量问题,提出了一种改善微小压入深度下压头面积函数准确性的方法。该方法将压头与被测样品之间的投影接触面积与压头针尖曲率半径和角度相关联,解决常用的面积函数确定方法在50 nm以下浅压痕测量中不可靠的问题。经实验验证,该面积函数确定方法可以提高微小接触深度下压入硬度和折合模量的测量准确度。; 李强任冬梅万宇; 关键词：纳米压入

减小光栅传感器测量信号误差的研究: 2015年; 光栅传感器是一种新型光子器件,将其应用于军事、航空等领域的检测工作中,可获得比传统机电机械类传感器更稳定、更可靠以及更准确的测量信号。但是,由于系统自身误差及噪音的影响,使得当前光栅传感器测量精度依旧有上升的空间。当前,光栅传感器作为一种新型传感器,凭借着高灵敏度、高分辨率等等优势,得到了十分广泛的应用。但是,在光栅传感器应用过程中,也存在一定的测量信号系统误差和随机误差,本研究即针对如何减小光栅传感器测量信号误差这一问题,展开了具体的探讨。; 李华丰李强万宇; 关键词：光栅传感器测量信号

一种基于梳齿电容的平衡式微小力值加载装置及方法: 本发明公开的一种基于梳齿电容的平衡式微小力值加载装置及方法，属于精密测量技术领域。本发明包括数据采集与控制模块、电压调整模块、压电陶瓷驱动模块、静电力平衡式压头和电容读取模块。静电力平衡式压头用于实现微小力值加载，主要由...; 李强李华丰朱振宇任冬梅万宇; 文献传递

光频调制法皮米级分辨力大行程激光测量装置: 本发明公开的光频调制法皮米级分辨力大行程激光测量装置，属于精密测量技术领域。本发明主要由干涉测量模块、光学解调模块、细分控制模块、控制及信息处理模块组成。所述干涉测量模块包括光源准直器、第一偏振分光棱镜、第一1/4波片、...; 朱振宇段小艳万宇; 文献传递

基于栅格节距中心峰值检测的扫描探针显微镜校准方法被引量：1: 2024年; 为了解决扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)现有校准方法复杂程度高且存在局限性的问题,提出了一种基于二维标准微尺度正交栅格的SPM校准方法,通过对扫描获取的栅格图像进行互相关/卷积(Cross-correlation/Convolution,CC)滤波,实现对栅距中心坐标的峰值检测。校准的运动几何误差包括x轴和y轴位置偏差Δ_(x)和Δ_(y)、沿x轴和y轴扫描的直线度偏差δy和δx以及两轴之间的正交性偏差γ_(xy)。根据x轴和y轴扫描像素数、扫描范围、标准栅格计量检定节距平均值、栅距平均值计算得出校准因子C_(x)和C_(y)。采用标称节距为10μm的正交栅格样板对原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)进行校准实验,结果显示C_(x)和C_(y)分别为0.925和1.050,γ_(xy)为0.015°,该台AFM的校准扩展不确定度为0.33μm(k=2.56)。研究成果对于推动SPM校准标准文件的具体实施和执行具有积极意义,并为SPM仪器研制及性能评估提供了技术参考。; 石俊凯陈晓梅万宇霍树春姜行健李冠楠周维虎; 关键词：扫描探针显微镜原子力显微镜

一种纳米压入仪压头位移和载荷的测量装置: 本发明涉及一种纳米压入仪压头位移和载荷的测量装置，属于计量技术领域。其特征是由弹簧支撑的压块在外力作用下可上下移动，移动的距离由激光干涉仪测量。压块的位移与所受的力之间的关系可通过测量压块在标准砝码的重力作用下产生的位移...; 任冬梅万宇朱振宇兰一兵; 文献传递

纳米校准与测试——基于纳米测量机的试验性研究被引量：2: 2008年; 主要介绍了基于纳米测量机的高阶梯差台阶标准样板和深沟槽深度标准样板计量测试和校准工作研究,包括在NMM上对两种标准样板进行计量测试和校准、在NMM上安装不同的探测传感器时纳米级深度标准样板和台阶高度样板的校准比较、以及在研航空基金项目"在NMM上实现小型非球面的坐标扫描轮廓测量方法"。; 陈晓梅万宇朱振宇; 关键词：纳米测量机

压头钝化对纳米硬度测量的影响分析: 2016年; 压头面积函数是影响纳米硬度测量的一个主要因素。本文对由于压头端部钝化对纳米硬度测量的影响进行了分析,并通过实验进行了验证。结果表明,面积函数校准对提高纳米硬度等材料力学性能参数的测量准确性十分必要。; 万宇任冬梅朱振宇段小艳; 关键词：纳米压入

光频调制法皮米级分辨力大行程激光测量装置: 本发明公开的光频调制法皮米级分辨力大行程激光测量装置，属于精密测量技术领域。本发明主要由干涉测量模块、光学解调模块、细分控制模块、控制及信息处理模块组成。所述干涉测量模块包括光源准直器、第一偏振分光棱镜、第一1/4波片、...; 朱振宇段小艳万宇; 文献传递

用于纳米级表面形貌测量的光学显微测头被引量：9: 2022年; 为了满足纳米级表面形貌样板的高精度非接触测量需求,研制了一种高分辨力光学显微测头。以激光全息单元为光源和信号拾取器件,利用差动光斑尺寸变化探测原理,建立了微位移测量系统,结合光学显微成像系统,形成了高分辨力光学显微测头。将该测头应用于纳米三维测量机,对台阶高度样板和一维线间隔样板进行了测量实验。结果表明:该光学显微测头结合纳米三维测量机可实现纳米级表面形貌样板的可溯源测量,具有扫描速度快、测量分辨力高、结构紧凑和非接触测量等优点,对解决纳米级表面形貌测量难题具有重要实用价值。; 李强任冬梅兰一兵李华丰万宇