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侯廉平
作品数:
22
被引量:8
H指数:2
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
化学工程
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合作作者
王圩
中国科学院半导体研究所
朱洪亮
中国科学院半导体研究所
周帆
中国科学院半导体研究所
边静
中国科学院半导体研究所
王鲁峰
中国科学院半导体研究所
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作者
22篇
侯廉平
15篇
王圩
12篇
朱洪亮
7篇
周帆
4篇
王鲁峰
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边静
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陈陪峰
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陈培峰
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2008
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2007
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2006
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2005
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2004
4篇
2003
3篇
2002
共
22
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射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究
被引量:3
2003年
分析了RFCO2 激光陶瓷基板划片的机理及工艺参数选择的原则。通过数值模拟和实验 ,分析了脉冲频率、脉冲宽度、划片速度、辅助气压大小、离焦量等工艺参数对激光划片质量的影响。
侯廉平
陈培峰
陈清明
关键词:
CO2激光器
划片
氧化铝陶瓷基片
数值模拟
Diamond K-250射频气体激光调制器的设计
2003年
采用TL494、SN75 172等元件组成了DiamondK -2 5 0射频气体激光调制器 ,调制频率、占空比和调制度单独可调。分析了电路的工作原理 ,绘出了调制频率。
侯廉平
陈培锋
关键词:
DIAMOND
激光调制器
占空比
脉宽
双波导技术制作半导体激光器和模斑转换器的方法
一种双波导技术制作半导体激光器和模斑转换器的方法,包括以下步骤:在n型磷化铟衬底上依次外延生长n型磷化铟缓冲层、下波导层、空间层、有源区和较薄的磷化铟本征层,磷化铟本征层可防止有源区的氧化;去掉最上面的磷化铟本征层,用S...
侯廉平
王圩
文献传递
射频CO_2激光陶瓷基板划片机
被引量:2
2003年
介绍了RFCO2 激光器及其对陶瓷基板划片的特点。分析了RFCO2 激光陶瓷基板划片的机理 ;给出了整机总体设计方案。对导光系统的激光束进行了模拟 ,给出了导光系统的光路图及聚焦镜焦平面处的光斑尺寸及能量分布图。
侯廉平
侯廉平
陈培峰
关键词:
陶瓷基板
激光划片
双波导技术制作半导体激光器和模斑转换器的方法
一种双波导技术制作半导体激光器和模斑转换器的方法,包括以下步骤:在n型磷化铟衬底上依次外延生长n型磷化铟缓冲层、下波导层、空间层、有源区和较薄的磷化铟本征层,磷化铟本征层可防止有源区的氧化;去掉最上面的磷化铟本征层,用S...
侯廉平
王圩
文献传递
射频CO_2激光陶瓷基板划片机光路设计及分析
2004年
介绍了RFCO2 激光陶瓷基板划片的特点。分析了导光系统的设计原则 ,讨论了圆偏振镜和伽利略离焦望远镜的作用和特点。对导光系统进行了优化和模拟 ,给出了导光系统的光路图及成像质量图。试验结果和理论相符。
侯廉平
陈培峰
王圩
朱洪亮
关键词:
陶瓷基板
划片机
利用量子阱混杂作模斑转换分布反馈布拉格激光器的方法
利用量子阱混杂作模斑转换分布反馈布拉格激光器的方法,包括以下步骤:在衬底上生长n型磷化铟缓冲层等;用二氧化硅把分布反馈布拉格-激光器掩蔽,在模斑转换器区的本征铟磷注入缓冲层产生点缺陷;腐蚀掉分布反馈布拉格-激光器的二氧化...
侯廉平
王圩
朱洪亮
文献传递
射频CO_2激光陶瓷基板划片机
2002年
介绍了RFCO2 激光器及陶瓷基板划片的特点。分析了RFCO2 激光陶瓷基板划片的机理 ;给出了整机总体设计方案。对导光系统的激光束进行了模拟 ,给出了导光系统的光路图及聚焦镜焦平面处的光斑尺寸及能量分布图。
侯廉平
陈陪峰
陈清明
关键词:
射频
CO2激光
陶瓷基板
划片机
激光划片
一次外延形成半导体激光器和模斑转换器的方法
一种一次外延形成半导体激光器和模斑转换器的方法,包括以下制作步骤:步骤1:在n型磷化铟衬底上外延生长n型磷化铟缓冲层、下波导层、2.4μm磷化铟空间层和有源区的下光限制层、压应变量子阱有源区、上光限制层,p型磷化铟包层和...
侯廉平
王圩
朱洪亮
文献传递
一次外延形成半导体激光器和模斑转换器的方法
一种一次外延形成半导体激光器和模斑转换器的方法,包括以下制作步骤:步骤1:在n型磷化铟衬底上外延生长n型磷化铟缓冲层、下波导层、2.4μm磷化铟空间层和有源区的下光限制层、压应变量子阱有源区、上光限制层,p型磷化铟包层和...
侯廉平
王圩
朱洪亮
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