- 13.56MHz低频功率对60MHz射频容性耦合等离子体的电特性的影响
- 2008年
- 使用补偿朗缪尔探针诊断技术,研究了60 MHz/13.56 MHz双频激发容性耦合等离子体的空间电子行为,得到了电子能量概率函数(EEPF)随径向位置和低频输入功率的演变行为.实验结果表明,13.56 MHz射频输入功率的变化主要影响低能电子的布居,其影响随气压升高而加大.在等离子体放电中心以外,EEPF呈现出双峰分布的特性,同时发现从放电中心到极板边缘,次能峰有逐渐向高能区漂移的现象,次能峰的出现显示了中能电子的增强的加热效应.通过EEPF方法,计算了等离子体的电子温度、电子密度.讨论了等离子体中的电子加热机理.
- 袁强华辛煜黄晓江孙恺宁兆元
- 甚高频激发容性耦合等离子体的放电特性
- <正>1、引言2、容性耦合等离子体实验装置3、甚高频耦合放电的外部电学测量4、甚高频耦合放电的内部电学测量1、引言超细线宽尺寸的介质刻蚀需要等离子体密度和离子轰击能量的独立控制,从而提供较宽的表面刻蚀工艺窗口。
- 辛煜孙恺宁兆元
- 文献传递
- 60MHz电容耦合等离子体中电子能量分布函数特性研究被引量：4
- 2008年
- 甚高频(频率大于30 MHz)耦合放电源由于能产生大面积高密度的等离子体而受到了人们的广泛关注.采用电流、电压探针以及朗缪尔探针诊断技术对60 MHz射频激发产生的容性耦合等离子体的放电特性及电子行为进行了研究.实验结果表明,等离子体的等效电阻/电容随着射频输入功率的增加而减小/增加;等离子体中电子行为不仅依赖于射频输入功率,还与放电气压密切相关;放电气压的增加导致电子能量概率分布函数(EEPF)从双温Maxwellian分布向Druyvesteyn分布转变,而且转变气压远低于文献所报道的数值,这主要是由于在60 MHz容性耦合等离子体中电子反弹共振加热效率大为降低.
- 孙恺辛煜黄晓江袁强华宁兆元
- 交叉型天线感应耦合等离子体源放电特性及均匀性被引量：2
- 2008年
- 本文介绍了一种交叉型天线射频感应耦合等离子体源,射频天线穿过交叉排列的石英管内置于真空腔体中。本文运用朗谬尔探针方法诊断了放电等离子体的参量及其均匀性,运用发射光谱技术进行了Ar谱线[4s’(1/2)0-4p’(1/2)]的发光强度的表征,并使用自制的Rogowski线圈测量了天线中的射频电流变化。结果表明,等离子体放电随着射频输入功率的增加存在着E模式向H模式的转变,H模式放电时发光强度及射频电流明显增大。电子温度随气压的增大而降低,几乎不受功率的影响。该等离子体源所产生的等离子体密度较高,等离子体均匀性在中心±60 mm区域内优于90%。
- 卢春山辛煜孙刚孙恺
- 关键词：感应耦合等离子体天线朗谬尔探针发射光谱
- 一种三维硅霍尔传感器的研制
- 本论文针对电子罗盘(electroniccompass)的应用，制作了应用于地磁测量的霍尔传感器，测试了其灵敏度、噪声以及功耗，研究了如何改善霍尔传感器的性能以及如何实现三维地磁场的测量。
本文首先在理论上研究了霍...
- 孙恺
- 关键词：霍尔传感器地磁测量灵敏度噪声测试
- 甚高频激发的容性耦合等离子体的特性测量与分析
- 在现代半导体行业中，低温等离子体常应用于薄膜生长、基片刻蚀和表面改性等。相比于感应耦合等离子体源而言，容性耦合等离子体源的结构简单，更容易形成大口径等离子体，因而被半导体工业广泛应用。最近兴起的双频激发容性耦合等离子体源...
- 孙恺
- 关键词：LANGMUIR探针电子温度电子密度
- 文献传递
