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孙琪
孙琪
作品数:
11
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供职机构:
上海交通大学
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相关领域:
经济管理
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合作作者
曹海勇
上海交通大学
李明
上海交通大学
张俊红
上海交通大学
凌惠琴
上海交通大学
李义
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经济管理
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电镀
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机构
11篇
上海交通大学
作者
11篇
孙琪
10篇
李明
10篇
曹海勇
6篇
张俊红
4篇
李义
4篇
凌惠琴
年份
5篇
2016
5篇
2014
1篇
2001
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深孔电镀的预处理方法
本发明涉及一种深孔电镀的预处理方法,包括如下步骤:步骤(1)选择待镀的具有一个或多个深孔的半导体芯片,选择纯水,并冷却;步骤(2)将所述半导体芯片进行抽真空处理;步骤(3)将所述半导体芯片在真空下浸泡在所述纯水中;步骤(...
李明
凌惠琴
孙琪
曹海勇
李义
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铜互连电镀填充效果的评价方法
本发明提供了一种铜互连电镀填充效果的评价方法,包括如下步骤:利用一种表面形成图形化的金属电极测电化学曲线;利用一种平面的金属电极测电化学曲线;比较上述两种电化学曲线,评价镀铜液的填充效果;调整电镀铜液的组分浓度和金属电极...
李明
凌惠琴
张俊红
曹海勇
孙琪
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铜互连电镀填充方法
本发明涉及一种铜互连电镀填充方法,包括以下步骤:将用于孔填充的镀铜液作为电解液,放入三电极体系中,测量其电化学曲线;根据电化学曲线确定电流峰和电流谷分别对应的电压值;将具有孔结构的样品作为工作电极放入三电极体系中,使孔表...
李明
张俊红
孙琪
曹海勇
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铜互连电镀填充效果的评价方法
本发明提供了一种铜互连电镀填充效果的评价方法,包括如下步骤:利用一种表面形成图形化的金属电极测电化学曲线;利用一种平面的金属电极测电化学曲线;比较上述两种电化学曲线,评价镀铜液的填充效果;调整电镀铜液的组分浓度和金属电极...
李明
凌惠琴
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深孔镀铜加速剂的测量方法
本发明涉及一种深孔镀铜加速剂的测量方法,包括如下步骤:步骤(1)选择金属电极作为工作电极,惰性金属片为对电极,饱和甘汞电极为参比电极,组成三电极体系,选择铜电镀液;步骤(2)测量不含加速剂的基础镀液的阴极极化曲线;步骤(...
李明
孙琪
曹海勇
李义
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铜互连电镀填充方法
本发明涉及一种铜互连电镀填充方法,包括以下步骤:将用于孔填充的镀铜液作为电解液,放入三电极体系中,测量其电化学曲线;根据电化学曲线确定电流峰和电流谷分别对应的电压值;将具有孔结构的样品作为工作电极放入三电极体系中,使孔表...
李明
张俊红
孙琪
曹海勇
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风险投资项目评估研究
该文内容大致分为三个部分.在文章的第一部分,首先对风险投资的内涵、特征、作用以及它的历史和现状,作了详细的介绍和分析.在第二部分,作者分析风险投资和项目评估体系,传统的财务分析在风险投资决策中已居次要地位,并分别对风险企...
孙琪
关键词:
风险投资
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铜互连电镀添加剂的评价方法
本发明涉及一种铜互连电镀添加剂的评价方法,包括如下步骤:步骤(1)将一种具有表面形貌特征的金属电极作为工作电极测定电化学曲线;步骤(2)将一种平面的金属电极作为工作电极测定电化学曲线;步骤(3)通过步骤(1)和(2)测量...
李明
张俊红
曹海勇
孙琪
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深孔镀铜加速剂的测量方法
本发明涉及一种深孔镀铜加速剂的测量方法,包括如下步骤:步骤(1)选择金属电极作为工作电极,惰性金属片为对电极,饱和甘汞电极为参比电极,组成三电极体系,选择铜电镀液;步骤(2)测量不含加速剂的基础镀液的阴极极化曲线;步骤(...
李明
孙琪
曹海勇
李义
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深孔电镀的预处理方法
本发明涉及一种深孔电镀的预处理方法,包括如下步骤:步骤(1)选择待镀的具有一个或多个深孔的半导体芯片,选择纯水,并冷却;步骤(2)将所述半导体芯片进行抽真空处理;步骤(3)将所述半导体芯片在真空下浸泡在所述纯水中;步骤(...
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