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徐文东

作品数：180 被引量：80H指数：4
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金上海市科委纳米专项基金更多>>
相关领域：机械工程电子电信理学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 144篇专利
  • 20篇科技成果
  • 8篇期刊文章
  • 7篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 16篇机械工程
  • 12篇电子电信
  • 10篇理学
  • 4篇化学工程
  • 4篇自动化与计算...
  • 4篇一般工业技术
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇电气工程
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇自然科学总论

主题

  • 49篇激光
  • 27篇物镜
  • 17篇光学
  • 16篇原子力显微镜
  • 16篇模块化
  • 15篇光束
  • 14篇照明
  • 14篇光刻
  • 13篇衍射
  • 13篇光点
  • 13篇光学显微镜
  • 12篇光源
  • 11篇透镜
  • 11篇光纤
  • 11篇光纤探针
  • 10篇调制
  • 10篇光调制
  • 9篇信号
  • 9篇掩膜
  • 9篇光轴

机构

  • 180篇中国科学院上...
  • 4篇中国科学院大...
  • 1篇华东师范大学

作者

  • 180篇徐文东
  • 60篇高秀敏
  • 58篇干福熹
  • 56篇张锋
  • 46篇周飞
  • 44篇杨金涛
  • 34篇王阳
  • 26篇赵成强
  • 19篇魏劲松
  • 18篇朱青
  • 18篇范永涛
  • 12篇戴珂
  • 11篇林强
  • 9篇郝春宁
  • 9篇洪小刚
  • 7篇李小刚
  • 7篇唐晓东
  • 6篇李锡善
  • 6篇焦佳
  • 5篇施宏仁

传媒

  • 3篇光学学报
  • 2篇中国激光
  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇光子学报
  • 1篇第十六届全国...
  • 1篇强激光材料与...

年份

  • 1篇2021
  • 1篇2020
  • 3篇2019
  • 2篇2018
  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 4篇2015
  • 5篇2014
  • 5篇2013
  • 7篇2012
  • 5篇2011
  • 2篇2010
  • 14篇2009
  • 9篇2008
  • 13篇2007
  • 32篇2006
  • 34篇2005
  • 13篇2004
  • 5篇2003
  • 7篇2002
共 180 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
任意边界光学元件单行不相交随机加工路径规划方法
本发明提供一种任意边界光学加工单行不相交随机路径的生成方法，包括：定义了路径点，相邻点和非路径点集合，集合内的元素都是各个点的坐标。对相邻点集合进行一次随机抽样，如果至少有一个抽样结果满足加入路径点集合的条件(可行点)，...
李徐钰魏朝阳徐文东邵建达
文献传递
关联成像激光雷达的发射模块
一种关联成像激光雷达的发射模块，其特点在于该发射模块包括：散斑光源、成像系统、数据存储器和同步控制器，所述的散斑光源和成像系统固定在同一底座上，本发明具有脉冲发射速度快、光能利用率高、可有效降低参考光场的重影强度等特点。
赵成强徐文东焦佳崔丽君
表面粗糙度非接触测量系统
朱青徐文东高秀敏张锋
一种新型表面粗糙度测量系统。该系统由聚焦误差探测和控制驱动两步分组成。采用动态离焦误差检测方法，引入聚焦伺服系统，由临界角法探测到聚焦误差信号，用来控制聚焦物镜的移动，使聚焦光点始终聚焦在被测表面上，聚焦物镜的移动量反映...
关键词：
关键词：表面粗糙度非接触测量系统
用于原子力显微镜的同轴照明显微镜光学系统
一种用于原子力显微镜的同轴照明显微镜光学系统，包括同光轴置放的八个成像透镜，以两直角棱镜的两斜平面胶合而成的立方胶合棱镜以及采用科勒照明结构的均匀照明光源。光源聚焦在视场光阑上，视场光阑成像在被探测物上，构成均匀照明。两...
吉小明徐文东
文献传递
太赫兹主动关联成像技术研究被引量：21
2018年
研究了一种基于主动关联成像方式的太赫兹成像系统,可利用一个太赫兹单点探测器实现目标的高速、高分辨二维成像,突破了太赫兹器件的分辨率限制。该系统采用双调幅板旋转方式产生可重复使用的测量矩阵,大幅提高了成像速度。通过数值模拟给出了成像距离、调幅板随机图形尺寸、采样次数、采样矩阵相关性等参数对成像结果的影响,得到最佳实验参数,并优化了双调幅板的运动策略。搭建的太赫兹主动关联成像实验装置采用波长为3mm的太赫兹源,实验证明其成像分辨率为4mm,且成像时间由调幅板的电机转速决定,证实了此种太赫兹成像方式的可行性。
闫昱琪赵成强徐文东李硕丰严海月
关键词：成像系统太赫兹成像压缩感知
配套于原子力显微镜的观察仪
一种配套于原子力显微镜的观察仪，包括旋转手轮使与其连接的置于立柱内的丝杠转动，带动由导向洞伸进立柱内的支撑臂连着机架作上下运动的粗调焦机构和置放可动透镜的外套与机架活动连接的精调焦机构。有两条相互垂直的中心光轴，第一中心...
徐文东干福熹
文献传递
检测光盘物镜小光斑的装置
一种检测光盘物镜小光斑的装置，包括由激光光源发射的激光束照射被测物镜产生的小光斑被光纤探针的针尖探测后由探测组件转变成电信号经前置放大器输入计算机。有白光光源发射的白光光束透过被测物镜照射到光纤探针的针尖上，将被测物镜的...
徐文东干福熹林强
文献传递
可调控光镊子的装置
一种可调控光镊子的装置，其构成是在入射平行光束的前进方向上置有可控三区域同心相位调节器和物镜，该可控三区域同心相位调节器自内向外由中心圆形相位区、内环形相位区和外环形相位区构成，并且相位调节面与光轴垂直，该可控三区域同心...
高秀敏徐文东干福熹
文献传递
用于缺陷检测的宽光谱大视场大数值孔径显微成像系统设计
宽光谱大视场显微成像光学系统是45nm技术节点全自动光学在线有图形硅片缺陷检测设备的两大核心部件之一.为满足对硅片上不同工艺层、不同缺陷的快速、准确、大范围检测要求，该光学系统必须是宽光谱(近紫外到可见光)、大数值孔径(...
步扬徐静浩曹红曲徐文东王向朝
关键词：光学设计显微物镜宽光谱大视场大数值孔径
检测表面形状的点衍射干涉仪
一种检测表面形状的点衍射干涉仪，包括光学部分和数据采集、处理和控制部分。光学部分包含激光器，沿激光束前进方向的光轴上，依次设有会聚透镜，镀有超分辨掩膜的固体浸润透镜，在光轴的上方放置待测器件，下方设有成像透镜；数据采集、...
徐文东周飞王阳张锋魏劲松
文献传递
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