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成相印
作品数:
14
被引量:34
H指数:5
供职机构:
清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
殷纯永
清华大学电机工程与应用电子技术...
郭继华
清华大学电机工程与应用电子技术...
方仲彦
清华大学机械工程学院精密仪器与...
谢广平
清华大学电机工程与应用电子技术...
张书练
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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9篇
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领域
9篇
机械工程
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电子电信
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金属学及工艺
主题
5篇
双频激光
5篇
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同轴度
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自适
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3篇
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双频激光干涉...
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激光器
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激光准直仪
2篇
磁光
2篇
磁光调制
机构
14篇
清华大学
作者
14篇
成相印
11篇
殷纯永
6篇
郭继华
4篇
方仲彦
3篇
谢广平
2篇
戴高良
2篇
张书练
2篇
郭继华
1篇
毛文炜
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闫聚群
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晁志霞
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王泽民
1篇
王泽民
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高赛
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光学学报
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仪器仪表学报
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计量学报
1篇
激光技术
1篇
中国计量测试...
年份
1篇
2005
1篇
2001
3篇
1997
5篇
1996
1篇
1995
3篇
1994
共
14
条 记 录,以下是 1-10
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被引量排序
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长距离同轴度测量方法及实验
被引量:3
1997年
本文介绍了一种新型的自适应双频激光同轴度测量系统,该系统利用两个完全对称的渥拉斯顿棱镜,一个作为测量元件,另一个作为补偿元件。采用比相技术处理测量信号,因而测量元件可以暂时移出光路,能够进行同轴度的测量。系统的光学设计使激光光束的平漂和角漂不影响测量结果,对激光的漂移有自适应性。两束干涉光基本符合共光路原则,因而对大气湍流、空气扰动的影响具有更强的适应性,可用于长距离直线度、同轴度的测量。该系统与HP5528双频激光干涉仪在27m的长导轨上进行了测量直线度的比对实验及挡光实验。比对实验结果表明,该系统在测量精度及稳定性上不低于HP5528。挡光实验表明,该系统挡光后,数据能够自动恢复,可用于同轴度的测量。
成相印
方仲彦
殷纯永
郭继华
关键词:
直线度测量
同轴度测量
自适应
一种波片测量的新方法
戴高良
成相印
关键词:
波形测量
波形测量装置
旋光分析
双频激光同轴度干涉测量系统的研究
该文系统分析和总结了仪器设计的自适应原则,提出了一种新的满足自适应原则的双频激光同轴度干涉测量系统,在该系统中两相干光束在30米内分开距离小于光斑半径,对空气扰动具有较强的抑制能力;而且光学系统本身自动补偿了激光光束平漂...
成相印
关键词:
同轴度
直线度
外差干涉
自适应
一种实现高精度稳定Zeeman激光频差的方法
被引量:5
1996年
为了使双频激光干涉仪的高精度和可靠性能够在当前急需解决的大尺寸高精度同轴度、直线度测量方面有效的发挥出来,有必要在双频激光干涉仪的信号处理方面采用比相技术,为此,需要稳定Zeeman激光的频差。本文提出一种基于8098单片机系统的智能化稳频差方案,不但保证了频差的稳定性,而且每次开机还能自动搜寻频差极值,从而保证了光频的复现性。系统经过实验验证,频差变化小于5kHz/5h,工作稳定可靠,可以满足比相的要求。
成相印
郭继华
殷纯永
关键词:
频差
稳频
双频激光干涉仪
磁光调制器的热分析
被引量:4
1997年
本文用有限元法对磁光调制器的热特性和温度分布进行了计算分析,与实验测量结果比较,二者符合良好。基于理论计算,对旋光准直仪中的磁光调制器进行了改进,使开机后的预热时间缩短了60%,磁光介质的温升降低了30%。
成相印
方仲彦
殷纯永
殷纯永
关键词:
磁光调制器
热分析
调制器
用双频激光干涉仪实时修正阿贝误差的方法和实验
被引量:5
1994年
讨论了对机床及某些测量仪器的阿贝误差进行实时修正的方法、原理和组成,同时介绍了验证该方法的实验装置及实测结果,在2.5m的行程内,将最大19.4μm的阿贝误差修正到1.3μm。
谢广平
成相印
王泽民
殷纯永
远程双频直线度同轴度测量干涉仪(SJD-3T)
殷纯永
郭继华
成相印
方仲彦
王泽民
马贵龙
钱忠
准直测量方法及准直测量干涉仪属于计量学领域,适用于解决机械制造和安装中的准直测量问题。例如汽轮机、水轮机、发电机的同轴度,不连续镜板的平面度,超长导轨的直线度等。这些测量要求激光准直仪应具有以下特征:(1)能连续测量也能...
关键词:
关键词:
激光准直仪
同轴度测量
非线性动力学
大气扰动
激光准直测量中几个基础性问题的研究
该文综述了当前激光准直测量方法,通过比较分析,认为下面三个问题带有一定普遍性,值得仔细研究:1)激光的稳频;2)光学、光路的自适应;3)结构分析.该文提出了一种用双频激光干涉仪测量直线度的新方法.从激光头出射的激光,通过...
成相印
关键词:
准直仪
激光干涉仪
自适应原则在激光准直仪中的应用
1997年
介绍了根据光学自适应原则设计的外差自适应激光准直系统。包括确定主要噪声因子以及对主要噪声因子实现光学自适应设计。该光学系统可以自动消除由于光束平移和角漂对测量产生的误差。同时允许在测量过程中将测量元件移出光路之外,因此可以用于同轴度测量。实验表明:该系统比其它准直仪具有更高的分辨率和稳定性。与HP公司双频激光准直仪相比具有相同的分辨率和稳定性,而没有近程死区,实现了状态测量,具有广泛的应用范围。
郭继华
成相印
殷纯永
关键词:
直线度
激光准直仪
准直仪
用于加工过程监测与误差补偿的几种新型干涉仪
殷纯永
郭继华
毛文炜
曾理江
徐毅
许婕
戴高良
蒋弘
晁志霞
高赛
林德教
陈强华
柳忠尧
吴健
闫聚群
宋德强
谢广平
成相印
该研究内容为七种新型干涉仪:高速测长干涉仪、滚转角干涉仪、横向塞曼直线度/同轴度干涉仪、纳米干涉仪、633纳米可调谐半导体激光绝对测长干涉仪、无泄漏单光束干涉仪(用来构成多站跟踪干涉仪)、方便调整的可装入加工中心的三轴干...
关键词:
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