殷伯华
- 作品数：97 被引量：70H指数：5
- 供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划北京市自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 电子束品质评价方法综述
- 2024年
- 电子显微类仪器广泛应用于微纳观测与精密加工领域,属于高端科学仪器。如何有效评价电子束品质是仪器开发者与使用者所关心的问题。然而,电子显微类仪器种类众多,根据应用的不同,电子束品质评价方法也有很大差异。因此,建立规范化的电子束评价方法,客观、准确和方便地评价电子束品质,是电子显微类仪器研制和应用方面的重要内容。本文基于电子显微类仪器中电子束性质,针对束流、束斑、束流密度和电子枪亮度等电子束品质参数,其中将束流和束斑定义作为直接评价参数,束流密度和电子枪亮度作为基本评价参数,分析了电子束评价参数不同测试方法的特点,从而对各种电子束评价方法进行分类归纳比较,同时将电子光学传递函数作为一种综合评价方法进行了总结分析。本文基于上述内容,可为建立规范化的电子束品质评价标准和测试方法提供参考依据。
- 史丽娜王鹏飞刘俊标邓晨晖殷伯华殷伯华
- 电子束增材制造聚焦消像散控制技术研究被引量：4
- 2022年
- 为解决电子束增材制造设备加工范围受限、大尺寸工件边缘加工精度下降等问题,对大偏角下电子束的散焦和像散进行研究。采用像差理论对电子束偏转过程中出现的束径增大、形状畸变现象进行分析。本研究搭建控制系统,动态调整聚焦线圈和消像散线圈的电流,即动态聚焦消像散。制作聚焦消像散校正表,使电子束在整个扫描区域内保持小束径。采用二次电子成像方法和EOG(能量梯度函数)评价函数验证校正效果。实验结果表明,动态聚焦消像散能够有效改善束斑质量,校正后电子束在12°偏转以内清晰成像,电子图像EOG值由0.81提升至1。
- 孙博彤殷伯华王鹏飞刘俊标刘俊标
- 关键词：增材制造
- 基于扫描电子显微镜的集成电路显微拍摄系统
- 2008年
- 提出使用扫描电子显微镜来获取集成电路芯片的形貌图像,以弥补光学显微镜分辨率的不足。利用拼接的方法来获得完整的芯片形貌图像。描述了压电陶瓷电机驱动工件台的工作原理。该工件台的定位误差小于20 nm,可使临近图像的重叠区域保持一致。介绍了使用电子束扫描控制器对电镜扫描场进行增益、旋转和位移校正的方法,使获得的芯片图像不需旋转即可进行拼接,减少了后续图像处理软件的工作量。实验证明,该系统可以获得亚微米级芯片的清晰图像。
- 刘伟殷伯华
- 关键词：压电陶瓷电机
- 柴油机氮氧化合物排放检测传感器的标定装置及标定方法
- 本发明提供一种柴油机氮氧化合物排放检测传感器的标定装置及标定方法。所述标定装置包括混合室、真空泵、中和瓶、标准气体供气源。混合室通过输气管路分别与真空泵及中和瓶相连。在连接混合室与真空泵的输气管路上设有第一阀门，在连接混...
- 殷伯华臧志成韩立方光荣
- 文献传递
- 一种电子束对中检测管以及电子束对中检测装置
- 本发明公开了一种电子束对中检测管以及电子束对中检测装置。电子束对中检测管，包括：绝缘件、输出电极以及检测感应片；绝缘件与输出电极采用钎焊方式焊接在一起；多个检测感应片围成一个中空结构；绝缘件包裹于所述中空结构的上部；中空...
- 王岩赵伟霞刘俊标殷伯华董增雅王丽娟韩立
- 一种应用于快速扫描原子力显微镜的探针自减振方法
- 一种应用于快速扫描原子力显微镜的探针自减振方法，所述的方法利用干法刻蚀法在原子力显微镜的探针背面加工ZnO薄膜，利用ZnO薄膜的逆压电效应，通过控制ZnO薄膜产生应力，为探针引入可调节外部阻尼，调整探针弹性系数，并提高探...
- 陈代谢殷伯华韩立刘俊标林云生初明璋
- 文献传递
- 计量型扫描电子显微镜成像方法研究
- 本文提出了一种新的基于位移台移动方式的扫描电子显微镜的成像方法。在完成了激光干涉测量技术与扫描成像结合基础上，建立计量型扫描电子显微镜系统。使得扫描电子显微镜图像中每个像素点都具有精确到纳米尺度的位置坐标数值。在扫描电子...
- 殷伯华徐哲文良栋夏瑞韩立高思田卢明臻
- 关键词：结构优化精度控制
- 文献传递
- 高速大扫描范围原子力显微镜系统的设计被引量：6
- 2011年
- 针对目前高速扫描型原子力显微镜(AFM)主要是限于物检测且扫描速度和扫描范围均有待提高,提出了一种高速原子力显微镜结构设计方案。在压电陶瓷致动器驱动的柔性铰链结构式位移台的基础上,构建了AFM大范围扫描器,使原子力显微镜在x-y扫描方向的运动范围达到了100μm×100μm。通过傅里叶频谱分析,计算获得了AFM扫描器常用的三角波驱动信号和正弦波驱动信号的高次谐波特性及其对AFM高速扫描成像的影响程度。为了消除在扫描运动过程中的机械自激振荡,提出了将正弦波信号作为高速扫描的驱动信号,行扫速度达到50line/s。在正弦波驱动的基础上提出了一种基于位置采样的图像获取方法,有效地减小了AFM扫描器的非线性误差造成的图像畸变现象。
- 殷伯华陈代谢林云生初明璋韩立
- 关键词：原子力显微镜正弦波驱动图像畸变
- 一种图形发生器
- 本发明涉及电子束控制设备技术领域，公开了一种图形发生器，其包括接口电路、双端口存储电路、数字信号处理电路、数模转换电路、曝光/标记检测控制电路、标记检测电路、最终曝光数据寄存器单元、束闸控制电路、激光补偿电路、坐标系变换...
- 孙博彤殷伯华王鹏飞许广鹿王文博
- 微型阵列束闸电子束偏转特性研究被引量：2
- 2023年
- 为了降低微型阵列式束闸边缘场和邻近电场对多束电子束的偏转影响和串扰,本文以3×3阵列束闸为研究对象,利用COMSOL Multiphysics中的静电和带电粒子追踪模块,研究束闸长宽比、隔离接地极和束闸上方增加接地层对电子束偏转的影响。研究表明,在长宽比不变的情况下,边缘场对电子束偏转的影响在总偏转量中的占比与偏转电压无关;而偏转极板的长宽比越大越有利于精确控制电子束的偏转;通过优化隔离接地电极结构与参数,可减小束闸之间的串扰引起的束斑模糊问题。为了减小边缘场和邻近电场对电子束偏转的影响,本研究分析得出,如果束闸上方接地层的作用范围小于100μm,可在一定程度上抑制串扰的影响。同时,分析表明将接地层上圆孔改为方孔后,也在一定程度上减小了不平衡电场带来的影响。
- 张雨露张利新刘俊标王文博殷伯华殷伯华
- 关键词：串扰
